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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】不明原因，求解答！

浏览0 回复28 电梯直达

vega

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发表于：2012/05/07 17:51:44 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

本司购买的是tescan家的扫描电镜，之前检测试样时电镜吸收电流＜1pA,最近几天吸收电流却变为nA级，拍摄图片时发现图像移动厉害，无法检测，烦请能解决此问题，不甚感激！

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2012/5/7 18:11:56 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

吸收电流在哪里？

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zhadaoan

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2012/5/8 8:58:13 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 vega(vega) 发表:
本司购买的是tescan家的扫描电镜，之前检测试样时电镜吸收电流＜1pA,最近几天吸收电流却变为nA级，拍摄图片时发现图像移动厉害，无法检测，烦请能解决此问题，不甚感激！

样品导电么，图像漂移归根结底还是电流增大的原因，其他所有操作条件都没变的情况下电流增大了？要是那样的话，我怀疑是不是灯丝有问题了，导致发射电流增大

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vega

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2012/5/8 11:05:23 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 zhadaoan(zhadaoan) 发表:
原文由 vega(vega) 发表:
本司购买的是tescan家的扫描电镜，之前检测试样时电镜吸收电流＜1pA,最近几天吸收电流却变为nA级，拍摄图片时发现图像移动厉害，无法检测，烦请能解决此问题，不甚感激！

样品导电么，图像漂移归根结底还是电流增大的原因，其他所有操作条件都没变的情况下电流增大了？要是那样的话，我怀疑是不是灯丝有问题了，导致发射电流增大

样品是硬质合金基体，具有一定的导电性但导电性差，灯丝换过才一、二个月时间，只是前不久连接扫描电镜的不间断电源异常过，发出报警声，最近又好了，就感觉吸收电流不正常了。

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vega

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2012/5/8 11:06:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 zhadaoan(zhadaoan) 发表:
原文由 vega(vega) 发表:
本司购买的是tescan家的扫描电镜，之前检测试样时电镜吸收电流＜1pA,最近几天吸收电流却变为nA级，拍摄图片时发现图像移动厉害，无法检测，烦请能解决此问题，不甚感激！

样品导电么，图像漂移归根结底还是电流增大的原因，其他所有操作条件都没变的情况下电流增大了？要是那样的话，我怀疑是不是灯丝有问题了，导致发射电流增大

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2012/5/8 11:40:56 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
吸收电流在哪里？

吸收电流应该就是打在样品上的电流

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fengyonghe

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2012/5/8 12:49:47 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 vega(vega) 发表:
原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
吸收电流在哪里？

吸收电流应该就是打在样品上的电流

打在样品上的电流称为电子束流，简称为束流。但是用法拉第杯所测得的吸收电流就等于束流。所以你开头用的“吸收电流”应更正为束流。
图像漂移如排除了样品固定不稳，就只有样品积电才能造成图像漂移。

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2012/5/8 13:36:00 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
原文由 vega(vega) 发表:
原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
吸收电流在哪里？

吸收电流应该就是打在样品上的电流

打在样品上的电流称为电子束流，简称为束流。但是用法拉第杯所测得的吸收电流就等于束流。所以你开头用的“吸收电流”应更正为束流。
图像漂移如排除了样品固定不稳，就只有样品积电才能造成图像漂移。

可是tescan家的扫描电镜参数里有一个“束流强度”值，还一个“吸收电流”值，那应该就不是一个概念。我可以确定样品固定好了，检查过的，那请问样品积电如何解释，是否有解决方法，谢谢！

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