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原文由 sept(sept) 发表:
不知您的样品是否放电，如果是普通金属样品，可以先找到一个小颗粒或尖角的特征居于屏幕中间，放大倍数超过2k。
1左右旋转Focus聚焦，观察颗粒是否会移动，如果是，那需要调整电子束对中，方法是按下wobbler（我拼对了么），调整xy，直到忽大忽小的跳动幅度最小，且同心。
2左右旋转Focus聚焦，观察颗粒是否随过焦或欠焦调整时发生左右拉长的现象，如果有，则需要调整象散。即调整面板上的stig xy，直到左右旋转Focus旋钮时，特征颗粒不会出现左右拉长的现象。
3调整Focus直到清晰，应该就可以了。
或者也可以改变加速电压啊，工作距离啊，直到合适的参数。
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不知您的样品是否放电，如果是普通金属样品，可以先找到一个小颗粒或尖角的特征居于屏幕中间，放大倍数超过2k。
1左右旋转Focus聚焦，观察颗粒是否会移动，如果是，那需要调整电子束对中，方法是按下wobbler（我拼对了么），调整xy，直到忽大忽小的跳动幅度最小，且同心。
2左右旋转Focus聚焦，观察颗粒是否随过焦或欠焦调整时发生左右拉长的现象，如果有，则需要调整象散。即调整面板上的stig xy，直到左右旋转Focus旋钮时，特征颗粒不会出现左右拉长的现象。
3调整Focus直到清晰，应该就可以了。
或者也可以改变加速电压啊，工作距离啊，直到合适的参数。
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