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主题：【求助】碳沉积为什么会影响到电镜的拍摄效果？

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发表于：2016/07/21 11:54:03 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
平时做测试经常会有那种碳沉积严重地样品导致照片效果不理想，一直不理解原理到底是怎样的？还有样品台加偏压为什么会加快碳沉积得速度？请各位大神解惑，谢谢。
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2016/7/24 1:42:42 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个问题真的没看到过详细解释，根据工作原理我做这样的理解。碳原子在电子束的轰击下丢失电子成为正离子，样品受电子束激发其表面会发射各种电子，因此样品表面会呈现一定的负电位，这样带正电的碳离子会附着在样品表面并还原为碳原子，形成碳污染。因此碳污染只发生在电子束扫描的范围内。加偏压后样品表面电位更负，也就更易被碳污染。
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fengyonghe
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2016/7/24 18:15:59 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我回复了你                                                                                                                                                                                       
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诶呦喂
v3125549
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2016/8/2 14:18:25 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe)发表:这个问题真的没看到过详细解释，根据工作原理我做这样的理解。碳原子在电子束的轰击下丢失电子成为正离子，样品受电子束激发其表面会发射各种电子，因此样品表面会呈现一定的负电位，这样带正电的碳离子会附着在样品表面并还原为碳原子，形成碳污染。因此碳污染只发生在电子束扫描的范围内。加偏压后样品表面电位更负，也就更易被碳污染。
好像有道理，谢谢
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一颗蒲公英
v3009733
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2016/8/3 8:52:59 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那有时候不导电样品，要提高拍摄效果，不是还要喷碳吗？为啥会是碳污染呢？
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huwang251
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2016/8/3 16:41:33 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品室里会有污染，清洗下样品室，积碳会减弱
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fengyonghe
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2016/8/4 22:18:42 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 一颗蒲公英(v3009733) 发表:
那有时候不导电样品，要提高拍摄效果，不是还要喷碳吗？为啥会是碳污染呢？
不能用碳污染代替喷碳，前者为松散堆积的炭黑，后者为均匀致密的碳膜。                                         
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2016/8/4 22:21:30 Last edit by fengyonghe
hongdesky
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2016/8/26 21:47:44 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 huwang251(huwang251) 发表:
样品室里会有污染，清洗下样品室，积碳会减弱
请问样品室怎样清洗呢？是否有相关仪器设备清洗，还是自己拿无尘布擦拭？谢谢
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hongdesky
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2016/8/26 21:54:53 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
以前听供应商解释过，样品会恢发烃类气体分子，其在电子束轰激下会下沉沉淀在表面。有张图片解释，但不知怎样上传或粘贴上来

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huwang251
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2016/8/30 16:41:19 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hongdesky(hongdesky) 发表:
以前听供应商解释过，样品会恢发烃类气体分子，其在电子束轰激下会下沉沉淀在表面。有张图片解释，但不知怎样上传或粘贴上来

配等离子清洗机
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p3086670
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2018/1/23 16:33:43 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
利用SEM原位等离子清洗仪做积碳清除处理。原则上，电镜腔体清洗过一次以后，一段时间内都不会有积碳出现了。
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