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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：（求助）场发射Hitachi-800扫描电镜调试

浏览0 回复4 电梯直达
bayrose
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发表于：2006/05/03 20:15:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：20积分 状态： 未解决
这一段时间开始使用扫描电镜，看到那么多的调整参数，不知先从那个下手，总是碰到聚焦了老半天，背景噪声依然很大，折腾了两天，还是没有得到一张满意的图像，求助各位，能不能给出调解扫描电镜的步骤，以及各个调节参数的影响？非常感谢！
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arden_jiang
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2006/5/17 0:30:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
熟悉Hitachi S－8820 CDsem，或许我们可以交流
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saintchen
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2006/5/26 15:29:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有说明书么？也可打电话问他们工程师啊。他们有义务回答
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annelugel
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2006/5/31 16:59:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不管使用的是哪家的电镜，以下几步都是适用的：
1）寻找样品，找到要观察的部分。
2）放大，聚焦。（若是新手，建议慢慢来，倍数不要一下非常大，以免找不到合适的工作距离）。
3）若倍数比较大，就必须调整合适的PROBE CURRENT（可能不同厂家有不同表示的方式）。
4）注意消像散，判断方法是：在聚焦的过程中看图片是否有变形，若有变形就说明存在严重的像散。
5)选择合适的明暗度和对比度，应为是黑白图片，所以明暗度和对比度是否合适有时对图片是否清晰会产生很大影响。
6）若要图片清晰，应用比较慢的扫描速度保存那些倍数较大图片。
除此之外，物镜光阑对中等每个厂家不同，我就不说了。
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annelugel
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2006/5/31 17:02:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
再补充一句，消像散时必须不断聚焦——消像散——再聚焦……熟练后就不会那么麻烦了，基本上看着图就能判断怎么消像散，以及是否已经将像散基本消除。
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