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主题：【讨论】SEM倾斜拍摄后，测量厚度与实际不一致

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Insm_be7a32d2
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发表于：2023/06/05 20:04:08 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
求助：SEM倾斜拍摄后，测量厚度与实际不一致，这是为什么？新手，不是很明白，请大家帮忙解释以下
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hmzhou83
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2023/6/8 6:45:06 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议把原图附上，没有图，没有测量数据不敢回复
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Insm_be7a32d2
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2023/7/10 12:29:12 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 (hmzhou83) 发表:
建议把原图附上，没有图，没有测量数据不敢回复

您好！这张图拍摄目的是看光刻胶角度的，手工裂片，看截面，然后倾斜9.7°，量的胶厚与台阶仪测的数据相差20nm左右。
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maxwellar
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2023/7/15 20:16:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Insm_be7a32d2(Insm_be7a32d2) 发表: 您好！这张图拍摄目的是看光刻胶角度的，手工裂片，看截面，然后倾斜9.7°，量的胶厚与台阶仪测的数据相差20nm左右。
不是应该竖直测量吗，为什么要倾斜呢？我的理解是倾斜本来就应该偏小的
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UNM
v2942222
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2023/7/18 10:55:33 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
测量要直接测量截面，需要提前把样品处理好，直接拍测截面测量
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