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透射电镜（TEM）
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主题：beam shape 问题， 急！！！

浏览0 回复11 电梯直达
mavericben
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发表于：2006/05/19 03:44:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的TEM最近修了一次，修好了发现beam的形状有问题
本来jeol1230的光斑形状在spot size 1，2（强光）的时候就不太圆，但现在在光斑最小时候
竟然变成月牙一样又细又长又弯的形状，太过分了，变化c2，加大光斑面积，形状又变成葫芦状（两个大小不一样的光斑连在一起），光斑再调大些的时候又变圆了。
如果用小的spot size，4，5。 光斑形状还比较圆。
调教cl STG，没有明显帮助。gun titlt，shift，没有明显帮助，火急求助！！！
多谢1!!(所有aperature都没有加入光路）
是什么参数出了问题？灯丝没有换过。

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2006/5/19 5:29:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个很明显是 C2 Astigmatism没有调好啊. 你帖子里说调C1 Astigmatism,
不知道是你写错了,还是你的电镜特殊.

先把gun tilt 调正了,然后把C2 astigmatism调好应该就可以了. 不同的spot size下,C2 astigmatism是不同的.所以只能调好一个你想用的spot size对应的
C2 astigmatism, 换到其他的spot size,光斑变椭圆是正常的.
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2006/5/19 7:23:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我说的是 CL（condense lense）不是c1。光斑形状太变形，已经远远超越了C2 象差的调节范围，
在spot size 3下面，勉强可以调节到圆形，在spotsize 1。 2。 下面，光斑是月牙形，不是椭圆形。就是比镰刀还细的那种月牙。怎么调象差都不行。我怀疑有更基本的问题。

原文由 phoenix-sun 发表:
这个很明显是 C2 Astigmatism没有调好啊. 你帖子里说调C1 Astigmatism,
不知道是你写错了,还是你的电镜特殊.

先把gun tilt 调正了,然后把C2 astigmatism调好应该就可以了. 不同的spot size下,C2 astigmatism是不同的.所以只能调好一个你想用的spot size对应的
C2 astigmatism, 换到其他的spot size,光斑变椭圆是正常的.
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2006/5/23 1:38:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有人碰到类似问题么？spot size 变化影响 光斑变化，是不是condens lens 出了问题？

原文由 mavericben 发表:
我们的TEM最近修了一次，修好了发现beam的形状有问题
本来jeol1230的光斑形状在spot size 1，2（强光）的时候就不太圆，但现在在光斑最小时候
竟然变成月牙一样又细又长又弯的形状，太过分了，变化c2，加大光斑面积，形状又变成葫芦状（两个大小不一样的光斑连在一起），光斑再调大些的时候又变圆了。
如果用小的spot size，4，5。 光斑形状还比较圆。
调教cl STG，没有明显帮助。gun titlt，shift，没有明显帮助，火急求助！！！
多谢1!!(所有aperature都没有加入光路）
是什么参数出了问题？灯丝没有换过。

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天黑请闭眼
shxie
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2006/5/23 16:59:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 mavericben 发表:
没有人碰到类似问题么？spot size 变化影响 光斑变化，是不是condens lens 出了问题？

是不是alpha角改了？
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怪味陈皮
ustb
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2006/5/23 19:11:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是光路里有东西？
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mavericben
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2006/5/24 0:28:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

请问怎么调节alpha角度？

原文由 shxie 发表:
原文由 mavericben 发表:
没有人碰到类似问题么？spot size 变化影响 光斑变化，是不是condens lens 出了问题？

是不是alpha角改了？
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mavericben
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2006/5/24 0:29:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果光路里面有冬冬，spotsize小得时候光斑应该也不正常把


原文由 ustb 发表:
是不是光路里有东西？
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怪味陈皮
ustb
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2006/5/24 23:10:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 mavericben 发表:
如果光路里面有冬冬，spotsize小得时候光斑应该也不正常把

还能调出灯丝像吗？什么形状？
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mavericben
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2006/5/25 0:34:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
试着减小HT，没看到灯丝象


原文由 ustb 发表:
原文由 mavericben 发表:
如果光路里面有冬冬，spotsize小得时候光斑应该也不正常把

还能调出灯丝像吗？什么形状？
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天黑请闭眼
shxie
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2006/5/25 8:13:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 mavericben 发表:
试着减小HT，没看到灯丝象

哦，难道是灯丝歪了？
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手机版： beam shape 问题， 急！！！
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