主题:beam shape 问题, 急!!!

浏览0 回复11 电梯直达
mavericben
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我们的TEM最近修了一次,修好了发现beam的形状有问题
本来jeol1230的光斑形状在spot size 1,2(强光)的时候就不太圆,但现在在光斑最小时候
竟然变成月牙一样又细又长又弯的形状,太过分了,变化c2,加大光斑面积,形状又变成葫芦状(两个大小不一样的光斑连在一起),光斑再调大些的时候又变圆了。
如果用小的spot size,4,5。 光斑形状还比较圆。
调教cl STG,没有明显帮助。gun titlt,shift,没有明显帮助,火急求助!!!
多谢1!!(所有aperature都没有加入光路)
是什么参数出了问题?灯丝没有换过。

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phoenix-sun
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这个很明显是 C2 Astigmatism没有调好啊. 你帖子里说调C1 Astigmatism,
不知道是你写错了,还是你的电镜特殊.

先把gun tilt 调正了,然后把C2 astigmatism调好应该就可以了. 不同的spot size下,C2 astigmatism是不同的.所以只能调好一个你想用的spot size对应的
C2 astigmatism, 换到其他的spot size,光斑变椭圆是正常的.
mavericben
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我说的是 CL(condense lense)不是c1。光斑形状太变形,已经远远超越了C2 象差的调节范围,
在spot size 3下面,勉强可以调节到圆形,在spotsize 1。 2。 下面,光斑是月牙形,不是椭圆形。就是比镰刀还细的那种月牙。怎么调象差都不行。我怀疑有更基本的问题。

原文由 phoenix-sun 发表:
这个很明显是 C2 Astigmatism没有调好啊. 你帖子里说调C1 Astigmatism,
不知道是你写错了,还是你的电镜特殊.

先把gun tilt 调正了,然后把C2 astigmatism调好应该就可以了. 不同的spot size下,C2 astigmatism是不同的.所以只能调好一个你想用的spot size对应的
C2 astigmatism, 换到其他的spot size,光斑变椭圆是正常的.
mavericben
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没有人碰到类似问题么?spot size 变化影响 光斑变化,是不是condens lens 出了问题?

原文由 mavericben 发表:
我们的TEM最近修了一次,修好了发现beam的形状有问题
本来jeol1230的光斑形状在spot size 1,2(强光)的时候就不太圆,但现在在光斑最小时候
竟然变成月牙一样又细又长又弯的形状,太过分了,变化c2,加大光斑面积,形状又变成葫芦状(两个大小不一样的光斑连在一起),光斑再调大些的时候又变圆了。
如果用小的spot size,4,5。 光斑形状还比较圆。
调教cl STG,没有明显帮助。gun titlt,shift,没有明显帮助,火急求助!!!
多谢1!!(所有aperature都没有加入光路)
是什么参数出了问题?灯丝没有换过。

天黑请闭眼
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原文由 mavericben 发表:
没有人碰到类似问题么?spot size 变化影响 光斑变化,是不是condens lens 出了问题?

是不是alpha角改了?
怪味陈皮
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mavericben
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请问怎么调节alpha角度?

原文由 shxie 发表:
原文由 mavericben 发表:
没有人碰到类似问题么?spot size 变化影响 光斑变化,是不是condens lens 出了问题?

是不是alpha角改了?
mavericben
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如果光路里面有冬冬,spotsize小得时候光斑应该也不正常把


原文由 ustb 发表:
是不是光路里有东西?
怪味陈皮
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原文由 mavericben 发表:
如果光路里面有冬冬,spotsize小得时候光斑应该也不正常把

还能调出灯丝像吗?什么形状?
mavericben
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试着减小HT,没看到灯丝象


原文由 ustb 发表:
原文由 mavericben 发表:
如果光路里面有冬冬,spotsize小得时候光斑应该也不正常把

还能调出灯丝像吗?什么形状?
天黑请闭眼
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原文由 mavericben 发表:
试着减小HT,没看到灯丝象

哦,难道是灯丝歪了?
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