[求助]使用SEM看薄膜断面？

dlclq

禁止发帖修改昵称

ID：denqinamao

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2006/11/28 21:19:00 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

为什么不用FIB？

赞贴

0

拍砖

0

dog_tiger

禁止发帖修改昵称

ID：dog_tiger

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2007/6/2 16:45:00 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

用SEM看单晶硅片断面氧化层形貌，如何制样？氧化层很薄，大概几十纳米

赞贴

0

拍砖

0

110sl119

禁止发帖修改昵称

ID：110sl119

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2007/6/3 9:18:00 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

放大200K以上就可以看了

赞贴

0

拍砖

0

stonker

禁止发帖修改昵称

ID：stony007

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2007/6/5 20:03:00 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

受益啊！

赞贴

0

拍砖

0

wbslandy

禁止发帖修改昵称

ID：wbslandy

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2007/7/18 23:03:00 16楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

有40nm还嫌薄? 把样品寄给我, 我给你做.
不满意就不收你钱.
我平时做的就只有1~2nm, 应该能满足你的要求.

赞贴

0

拍砖

0

smartfalcon

禁止发帖修改昵称

ID：smartfalcon

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2007/7/24 22:47:00 17楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

可以考虑用ESEM来做.

原文由 feiliao 发表:
在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

请问喷金（应该不能喷碳）以后能看到清楚的界面吗？我看别人论文里面的图都非常清楚，不知何故？

希望得到各位前辈的请教！

赞贴

0

拍砖

0