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主题：求助:SEM加HV时真空自动破除

浏览0 回复11 电梯直达
chool012
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发表于：2006/11/21 18:14:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：50积分 状态： 已解决
我今天在开始SEM抽真空后点击HV后,真空自动破除,我重新抽真空再次点HV,发现有图象出现,但图象斑点非常多,怎么调都一样,并且关掉真空时,黑色屏幕上出现很多白色小点.请问是什么原因,,急,,,在线等啊.谢谢啊
推荐答案：annelugel回复于2006/11/23
顺便说一句，有白色雪花点说明你探头到PPT为止应该没问题。图像太差可能是因为真空度问题。
补充答案：

春天的桃子回复于2009/01/08

"我今天在开始SEM抽真空后点击HV后,真空自动破除 " 我当时的原因是镜捅里面要清洗.

prodigy38回复于2009/01/15


请告知型号。。。。。

磨剪子嘞 锵菜刀回复于2009/02/15

Jeol的？好久没来，怎么表情图标变得这么XX……

gpdx回复于2006/11/22

建议直接联系您的电镜的工程师!

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2006/11/22 16:17:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议直接联系您的电镜的工程师!
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annelugel
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2006/11/23 16:37:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能是电路板的问题，控制高压和真空相连那块。信息太少，很难判断。至少你要把SEM的型号说出来，在真空多少的时候上的高压，第一次上不行，第二次就可以了，之间你进行了什么不同的操作没？你有没有用其他探头试试，先排除探头本身问题（虽说这个可能性很小）。信息不够是没法判断的。如果你熟悉你的SEM的话这个应该不是大问题，不过还是建议你联系厂家的工程师，他们解决的速度肯定比你自己检查要快。
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annelugel
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2006/11/23 16:41:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
顺便说一句，有白色雪花点说明你探头到PPT为止应该没问题。图像太差可能是因为真空度问题。
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haojun727
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2006/11/23 18:43:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
出現雪花應該是真空度問題.
估計是真空泵有問題,看一下油是不是有問題.
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春天的桃子
dct1983
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2008/12/19 20:49:49 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 annelugel 发表:
可能是电路板的问题，控制高压和真空相连那块。信息太少，很难判断。至少你要把SEM的型号说出来，在真空多少的时候上的高压，第一次上不行，第二次就可以了，之间你进行了什么不同的操作没？你有没有用其他探头试试，先排除探头本身问题（虽说这个可能性很小）。信息不够是没法判断的。如果你熟悉你的SEM的话这个应该不是大问题，不过还是建议你联系厂家的工程师，他们解决的速度肯定比你自己检查要快。

这种情况我原来也遇到过，后来联系工程师来，他们也没有解决的了
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春天的桃子
dct1983
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2009/1/8 17:50:37 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
"我今天在开始SEM抽真空后点击HV后,真空自动破除 " 我当时的原因是镜捅里面要清洗.
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朝阳
qqpainter
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2009/1/13 16:30:57 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对比度加的太大了吧？
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prodigy38
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2009/1/15 20:34:11 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 chool012 发表:
我今天在开始SEM抽真空后点击HV后,真空自动破除,我重新抽真空再次点HV,发现有图象出现,但图象斑点非常多,怎么调都一样,并且关掉真空时,黑色屏幕上出现很多白色小点.请问是什么原因,,急,,,在线等啊.谢谢啊

请告知型号。。。。。
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110sl119
110sl119
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2009/1/18 11:45:19 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真空有问题；建议12小时抽真空；高压点开不要关；每4小时加一次高压；6小时做一次FLASHING;再看看效果；是在不行；通知厂家。
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bigbug51
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2009/2/1 10:46:45 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没型号，不好判断，图像差可能有很多原因，二次电子探头闪烁体的高压坏了会造成衬度变差，如果是场发射的灯丝发射过低也是这样。
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