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主题：【已应助】求英文文献一篇

浏览0 回复2 电梯直达
六脉神剑
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发表于：2013/05/27 23:23:48 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：100积分 状态： 已解决
题目：Bonding and deep RIE: a powerful combination for high-aspect-ratio sensors and actuators

作者：Karla Hiller; Matthias Kuechler; Detlef Billep; Bernd Schroeter; Marco Dienel; Dirk Scheibner; Thomas Gessner

期刊：Proc. SPIE 5715, Micromachining and Microfabrication Process Technology X,

卷、年：80 (April 11, 2005); doi:10.1117/12.591509

http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=1324402
推荐答案：johnkeen回复于2013/05/28
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2013/5/28 12:38:26 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2013/5/28 15:09:24 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢！很厉害。
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