主题：【求助】想问问关于离子泵方面的注意事项。。。求帮助解答

事情也没那么复杂。没有报警信息，用户按常规操作，出问题肯定是设备方的责任。要么是设计有缺陷，要么就是零件有故障或者老化。

原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
事情也没那么复杂。没有报警信息，用户按常规操作，出问题肯定是设备方的责任。要么是设计有缺陷，要么就是零件有故障或者老化。

恩， 就是没有报警信息。。。发现机器有时候坏了也能学到好多东西。。。不过，我们供应商售后服务态度都挺好的。。。机器运行拍照状况都非常不错，就是对机器有时候存在突然掉灯丝感觉很可怕！我们机器从装起到现在大概也用了半年了。。。要是这次这个隔离阀，在延缓到包修期过，那这次不就倒霉透顶了吧，想到这个，就发现机器本身存在的隐患不及时解决，非要把小问题变成大问题了才搞，感觉有点不满意。。。ps：我发帖的主要目的就是请教问题，学点东西，也不是为了和他们扯皮。。。最后，谢谢你的关心哈。。。

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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
“没想到一点vent，发现灯丝直接灭了（可能是因为灯丝真空太低的保护状态），然后看真空发现gun vacuum为4--e-4pa。。。”
出现上述现象本身就已经说明离子泵出现了问题。你在4e-4pa重新启动pump应该是允许的。因为离子泵的最低工作电压是1e-2pa。工程师给你讲的话有推卸嫌疑。

恩，谢谢你的回答！因为对于离子泵的厂家型号不知道，所以不敢这样和他理论去说。。。但是你提到是离子泵出现了问题，感觉很新奇，因为他们这批电镜，他们自己承认civ（隔离阀）本身存在问题，因为之前存在过本来开着的灯丝，第二天上班发现是灭的这样的情况，所以他们已经把问题归咎到这个阀上面，而离子泵的问题，说是因为我pump抽坏的。。。刚开始，掉灯丝的原因，指定在真空问题上面，真空问题又涉及到，1.潘宁规的瞬间污染 2.civ阀漏气 。。。如果按你说是vent的那一刹那离子泵就出问题了，不知道是怎么判断的？

因为离子泵最低工作压力是1e-2pa，你操作pump应该是允许的，他强调不能这样操作就说明他知道这个离子泵存在薄弱环节。

恩，刚才有人来现场查看了，说我点完vent后，看到的4e-4pa，可能是虚假的，因为用来探测gun腔体真空的离子泵的高压头，测试值最低范围在e-4pa左右，所以有可能已经低于离子泵承受范围的压强了，具体我们这台离子泵启动压强，现在只敢说是2e-3pa，因为在第一次开机抽真空时，当样品室真空达到2e-3pa时，才会ccv开打，离子泵启动开始抽上面腔体的真空。。。ps：工程师说，离子泵要是在低真空下运行，烧坏也就是几分钟的事情。。。所以你说的vent的那一刻，离子泵就出问题啦，现在想想感觉你说的很对。。。因为点vent，ccv马上就会关闭，整个事态就发生在那一刻，就看ccv关闭的那一刻，漏气多少啦！说这和我后面pump没有多大关系，还说点vent后，离子泵也不会关闭的（这点比较存疑，难道真空计不会给离子泵反馈信号吗，但是又细想真空计显示值是4e-4pa（就算是假值）比2e-3pa高，肯定也不会做出什么反馈信号了，所以之前工程师告诉我的离子泵的保护性停止也需是错误的），这样一看，是不是问题都出在这个不是全量程的真空计上面。。。ps：对于两个腔体的真空腔，上面的超高真空，下面高真空，中间一个隔离阀，当隔离阀打开后，为什么下面的气不会跑到更高真空的腔体呢？有谁知道？

这个问题我曾经问过工程师。每一个电磁透镜都有一个光阑，场发射的光阑已经做得很小，被光阑隔开的空间会形成压差，也就是抽气速率大于漏气速率从而满足各级真空的要求。即便在低真空模式下工作也不影响上面的真空度。

恩，刚才有人来现场查看了，说我点完vent后，看到的4e-4pa，可能是虚假的，因为用来探测gun腔体真空的离子泵的高压头，测试值最低范围在e-4pa左右，所以有可能已经低于离子泵承受范围的压强了，具体我们这台离子泵启动压强，现在只敢说是2e-3pa，因为在第一次开机抽真空时，当样品室真空达到2e-3pa时，才会ccv开打，离子泵启动开始抽上面腔体的真空。。。ps：工程师说，离子泵要是在低真空下运行，烧坏也就是几分钟的事情。。。所以你说的vent的那一刻，离子泵就出问题啦，现在想想感觉你说的很对。。。因为点vent，ccv马上就会关闭，整个事态就发生在那一刻，就看ccv关闭的那一刻，漏气多少啦！说这和我后面pump没有多大关系，还说点vent后，离子泵也不会关闭的（这点比较存疑，难道真空计不会给离子泵反馈信号吗，但是又细想真空计显示值是4e-4pa（就算是假值）比2e-3pa高，肯定也不会做出什么反馈信号了，所以之前工程师告诉我的离子泵的保护性停止也需是错误的），这样一看，是不是问题都出在这个不是全量程的真空计上面。。。ps：对于两个腔体的真空腔，上面的超高真空，下面高真空，中间一个隔离阀，当隔离阀打开后，为什么下面的气不会跑到更高真空的腔体呢？有谁知道？

这个问题我曾经问过工程师。每一个电磁透镜都有一个光阑，场发射的光阑已经做得很小，被光阑隔开的空间会形成压差，也就是抽气速率大于漏气速率从而满足各级真空的要求。即便在低真空模式下工作也不影响上面的真空度。



看了你的回复，然后想把我们镜头也给你看看，这两幅图一对比，突然发现对右图中ccv阀的位置在哪里又疑惑了，因为从左图中我们知道bsd探测器就在最下面同样也是右图中的最下面（工程师经常提醒我们防撞的bsd），按你说的如果光阑（一般用3um）是压差的分界线，这样是不是电子在不同的真空下发射下来的？

恩，刚才有人来现场查看了，说我点完vent后，看到的4e-4pa，可能是虚假的，因为用来探测gun腔体真空的离子泵的高压头，测试值最低范围在e-4pa左右，所以有可能已经低于离子泵承受范围的压强了，具体我们这台离子泵启动压强，现在只敢说是2e-3pa，因为在第一次开机抽真空时，当样品室真空达到2e-3pa时，才会ccv开打，离子泵启动开始抽上面腔体的真空。。。ps：工程师说，离子泵要是在低真空下运行，烧坏也就是几分钟的事情。。。所以你说的vent的那一刻，离子泵就出问题啦，现在想想感觉你说的很对。。。因为点vent，ccv马上就会关闭，整个事态就发生在那一刻，就看ccv关闭的那一刻，漏气多少啦！说这和我后面pump没有多大关系，还说点vent后，离子泵也不会关闭的（这点比较存疑，难道真空计不会给离子泵反馈信号吗，但是又细想真空计显示值是4e-4pa（就算是假值）比2e-3pa高，肯定也不会做出什么反馈信号了，所以之前工程师告诉我的离子泵的保护性停止也需是错误的），这样一看，是不是问题都出在这个不是全量程的真空计上面。。。ps：对于两个腔体的真空腔，上面的超高真空，下面高真空，中间一个隔离阀，当隔离阀打开后，为什么下面的气不会跑到更高真空的腔体呢？有谁知道？

这个问题我曾经问过工程师。每一个电磁透镜都有一个光阑，场发射的光阑已经做得很小，被光阑隔开的空间会形成压差，也就是抽气速率大于漏气速率从而满足各级真空的要求。即便在低真空模式下工作也不影响上面的真空度。



还有按照你说的光阑口径很小的原因，可不可以用上面的方程来解释，就是光阑小可不可以理解为流导很小，以至于更本就抽不下来，这也就是为什么在机器刚用来时，抽gun真空时，必须要用bypass这一路来抽上面的真空的原因不（还是为了只是速度时间问题），当上面真空达到一定数值时，bypass这一路一直是关闭的，但是离子泵在腔体的上面，就等于是上面的真空是不是都由离子泵来负责了，离子泵又不像分子泵存在尾气的问题。所以打开civ的目的是不是只是为了实现电子轨道同路，关闭civ的目的是为了在vent时，防止粘滞流下的气体分子，因为压差而上去。。。ps：被我自己这些话也搞的乱乱的，是不是气体在分子流下不存在压差流动这一说法，只是在粘滞流下气流流动才会有压差流动？

原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:
恩，刚才有人来现场查看了，说我点完vent后，看到的4e-4pa，可能是虚假的，因为用来探测gun腔体真空的离子泵的高压头，测试值最低范围在e-4pa左右，所以有可能已经低于离子泵承受范围的压强了，具体我们这台离子泵启动压强，现在只敢说是2e-3pa，因为在第一次开机抽真空时，当样品室真空达到2e-3pa时，才会ccv开打，离子泵启动开始抽上面腔体的真空。。。ps：工程师说，离子泵要是在低真空下运行，烧坏也就是几分钟的事情。。。所以你说的vent的那一刻，离子泵就出问题啦，现在想想感觉你说的很对。。。因为点vent，ccv马上就会关闭，整个事态就发生在那一刻，就看ccv关闭的那一刻，漏气多少啦！说这和我后面pump没有多大关系，还说点vent后，离子泵也不会关闭的（这点比较存疑，难道真空计不会给离子泵反馈信号吗，但是又细想真空计显示值是4e-4pa（就算是假值）比2e-3pa高，肯定也不会做出什么反馈信号了，所以之前工程师告诉我的离子泵的保护性停止也需是错误的），这样一看，是不是问题都出在这个不是全量程的真空计上面。。。ps：对于两个腔体的真空腔，上面的超高真空，下面高真空，中间一个隔离阀，当隔离阀打开后，为什么下面的气不会跑到更高真空的腔体呢？有谁知道？

这个问题我曾经问过工程师。每一个电磁透镜都有一个光阑，场发射的光阑已经做得很小，被光阑隔开的空间会形成压差，也就是抽气速率大于漏气速率从而满足各级真空的要求。即便在低真空模式下工作也不影响上面的真空度。



还有按照你说的光阑口径很小的原因，可不可以用上面的方程来解释，就是光阑小可不可以理解为流导很小，以至于更本就抽不下来，这也就是为什么在机器刚用来时，抽gun真空时，必须要用bypass这一路来抽上面的真空的原因不（还是为了只是速度时间问题），当上面真空达到一定数值时，bypass这一路一直是关闭的，但是离子泵在腔体的上面，就等于是上面的真空是不是都由离子泵来负责了，离子泵又不像分子泵存在尾气的问题。所以打开civ的目的是不是只是为了实现电子轨道同路，关闭civ的目的是为了在vent时，防止粘滞流下的气体分子，因为压差而上去。。。ps：被我自己这些话也搞的乱乱的，是不是气体在分子流下不存在压差流动这一说法，只是在粘滞流下气流流动才会有压差流动？

看了你的分析我想起还有压差光缆一说，不知具体安装在什么位置。

传一张拆下来的离子泵，把这个帖子的主角拿出来分享一下。。。CF45法兰，工作电压7kv±10%，烘烤温度200℃，启动最低压强10E-2Pa。。。

果然是出问题的时候学到的东西最多。

CIV阀门漏气会造成什么样的后果，有高手可以指点一下吗？