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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：求助：能谱仪死时间超高！

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R.F.L.

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发表于：2006/07/19 09:18:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

该帖子已被renxin设置为精华；

我的能谱仪这两天不加偏压和束流，技术率达到几万，死时间达到100%，请问大家这是什么问题，是不是探头前放坏了？谢谢指教！

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2006/7/19 15:40:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 leeeds 发表:
我的能谱仪这两天不加偏压和束流，技术率达到几万，死时间达到100%，请问大家这是什么问题，是不是探头前放坏了？谢谢指教！

是探头噪音问题，是由于探头内部真空变坏造成的，处理方法很简单，即将探头重新抽真空。
绝对不需要将探头送回厂家修理，也不需要更换任何零部件。

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R.F.L.

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2006/7/19 16:53:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

谢谢指教！
还得问个问题，在那里可以抽真空，大概的价格是多少，纯了真空的问题外，有没有可能是其他的问题？
请原谅我这么白的问题！谢谢！~

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2006/7/19 19:50:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 leeeds 发表:
谢谢指教！
还得问个问题，在那里可以抽真空，大概的价格是多少，纯了真空的问题外，有没有可能是其他的问题？
请原谅我这么白的问题！谢谢！~

不用请人抽真空，直接将真空管一端连接在 SEM 样本室后面的接口，另一端接到探头中央的真空口上，利用SEM的真空系统修复探头的真空。
九成以上是真空问题。

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德国工兵

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2006/7/20 12:36:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

楼主如果自己要抽真空的话千万要小心，特别是把探头中的真空卸除的时候，一定要等探头没有液氮，完全干燥的时候再卸真空，否则里面的晶体和冷却杆都会结霜，到时候问题就严重了。还有真空不好的原因很多，如果是微漏自己抽真空可能会有效。

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扫描电镜分析

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2006/7/26 0:06:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

应先向厂商技术部门工程师咨询后定夺操作计划，起码要先问请操作注意事项。先确定问题的原因！

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2006/7/27 13:42:00 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 dongfanghaoxia 发表:
应先向厂商技术部门工程师咨询后定夺操作计划，起码要先问请操作注意事项。先确定问题的原因！

哪有这么悬，厂商大多夸张，为了是赚钱，要知道他们的利润可全在修探头上了。
抽真空耗费厂商费用最小，因此这类的维修厂商最喜欢作，风险也小。

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觉悟

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2006/7/29 5:30:00 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你就使坏吧！用户自己能干这活厂家就不会收这么多银子了。告诉大家，探测器抽真空是一个风险很高的工作。第一需要有专门的接口工具连接气路，并能够打开和关闭探测器上的抽气阀，否则打开容易，想关就不可能了；第二在抽真空的过程中不能突然掉电，否则前工尽弃是小，造成窗口破裂是大；第三探测器温度上升时放出的气体容易污染晶体和场效应管，造成性能下降，需要控制好放气量；第四抽真空时间不能少于七天，最好十四天，否则很快真空镀还会降低。而且，死时间变大的原因很多，武断地说是真空度的问题，是不可取的。检修设备也是一门技术，需要专门的知识和经验，需要对症修理。

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2006/7/29 22:55:00 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 renyi 发表:
你就使坏吧！用户自己能干这活厂家就不会收这么多银子了。告诉大家，探测器抽真空是一个风险很高的工作。第一需要有专门的接口工具连接气路，并能够打开和关闭探测器上的抽气阀，否则打开容易，想关就不可能了；第二在抽真空的过程中不能突然掉电，否则前工尽弃是小，造成窗口破裂是大；第三探测器温度上升时放出的气体容易污染晶体和场效应管，造成性能下降，需要控制好放气量；第四抽真空时间不能少于七天，最好十四天，否则很快真空镀还会降低。而且，死时间变大的原因很多，武断地说是真空度的问题，是不可取的。检修设备也是一门技术，需要专门的知识和经验，需要对症修理。

什么叫使坏呢，您这话说的。
个人经验，我自己利用以上方法已经成功修复了五个探头，其中一个是BE窗的，其余四个都是 ATW的，探头寿命从两年到25年不等。
不过我承认讲的不够细，原因是用户一般对自己维修很缺少信心，提醒他们风险很大只能加剧恐惧感，我之所以讲的有点直接，就是想鼓励大家，战略上要藐视敌人，不过您讲的更好，战术上要重视敌人。
无论如何，使坏是不能接受的，看在您也是老人了，就不追究您道歉了

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2006/7/29 23:04:00 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 renxin 发表:
原文由 renyi 发表:
你就使坏吧！用户自己能干这活厂家就不会收这么多银子了。告诉大家，探测器抽真空是一个风险很高的工作。第一需要有专门的接口工具连接气路，并能够打开和关闭探测器上的抽气阀，否则打开容易，想关就不可能了；第二在抽真空的过程中不能突然掉电，否则前工尽弃是小，造成窗口破裂是大；第三探测器温度上升时放出的气体容易污染晶体和场效应管，造成性能下降，需要控制好放气量；第四抽真空时间不能少于七天，最好十四天，否则很快真空镀还会降低。而且，死时间变大的原因很多，武断地说是真空度的问题，是不可取的。检修设备也是一门技术，需要专门的知识和经验，需要对症修理。

什么叫使坏呢，您这话说的。
个人经验，我自己利用以上方法已经成功修复了五个探头，其中一个是BE窗的，其余四个都是 ATW的，探头寿命从两年到25年不等。
不过我承认讲的不够细，原因是用户一般对自己维修很缺少信心，提醒他们风险很大只能加剧恐惧感，我之所以讲的有点直接，就是想鼓励大家，战略上要藐视敌人，不过您讲的更好，战术上要重视敌人。
无论如何，使坏是不能接受的，看在您也是老人了，就不追究您道歉了

再说两句，武断也是很激进的用词，好像我只知道抽真空，但不知其所以然，其实这个判断是很严谨的，请再读楼主的原贴，仔细读
液氮能谱探头老实讲，我拆过不下十五个，内部结构了如指掌，实际上是胆大心细的活，会者不难。
这样吧，楼主或自己修，或请人修，请将结果公布出来，是否真空问题

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