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【序号】:1
【作者】:B. Yan, S. Higashi, C.C. Tsai, Q. Wang, H. Gleskova
【题名】:Wide-spectral-range, Expanded-beam Spectroscopic Ellipsometer and its Application for Imaging/Mapping of Graded Nanocrystalline Si:H Films
【期刊】:MRS Proceedings
【年、卷、期、起止页码】: / Volume 1321 / 2011
【链接】:http://journals.cambridge.org/action/displayAbstract?fromPage=online&aid=8330835
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