一台扫描电镜可以最高配四台
X-MaxN 探测器,每台能谱晶体面积最高150mm
2,四台能谱的活区面积最高达到
600mm2,增大的活区面积的优势主要在于:计数率提高两倍、三倍甚至四倍
空间分辨率及能谱分辨率不变的情况下显著提高计数率
集
AZtecEnergy及
X-MaxN系统,装备多探测器极大地提高设备的灵敏性
仅在几个
pA下采集数据,尤其适合束流敏感型样品
最大程度的收集纳米颗粒及特征的
X-射线信号
强大的和峰校准定量分析
微量元素的检测更加灵敏
对于束流敏感型样品,可以在较低的电镜参数下采集,如下图所示,小麦籽粒细胞的元素面分布
该样品采用磷酸缓冲液中多聚甲醛稳定样品化学成分, 并使用1%Os染色镶嵌,抛光并喷碳。
4个 150mm2的能谱探测器,10kV 下 总计数 77,000cps