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主题：【求助】四级杆不加热

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wudi198801
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发表于：2013/10/26 08:48:20 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问题描述：ms启动电源后，在真空视图中前极泵压力由150左右mtorr降到80左右，提示扩散泵开，热，后前管压力将到78，离子源温度升到220左右，四级杆温度一直未升，过3分钟后出现高真空泵为就绪的故障，然后离子源也在降温，请教高手是怎么回事？哪里的故障
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2013/10/28 16:23:02 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主是什么型号的仪器？
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2013/10/28 21:42:02 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wudi198801(v2789630) 发表:
问题描述：ms启动电源后，在真空视图中前极泵压力由150左右mtorr降到80左右，提示扩散泵开，热，后前管压力将到78，离子源温度升到220左右，四级杆温度一直未升，过3分钟后出现高真空泵为就绪的故障，然后离子源也在降温，请教高手是怎么回事？哪里的故障


安捷伦的gcms？哪个型号的？我可以搞定，三个地方可能有问题，一个是温度传感器，一个是电热管，另一个是ms主板的问题。先查传感器和电热管是否正常？如果正常的话就是ms主板的问题了。

我的邮箱zengxh@qdic.com(工作时间用)
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dbzxh
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2013/10/28 21:43:37 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
5973和5975C的ms主板我都有，自己修复的。
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