主题：有关XRF分析、EDS分析、ICP分析的问题

原文由 loaferfdu(loaferfdu) 发表:
几个东西都是元素分析仪：
1. 准确不准确看背后标样体系和基体效应的情况。ICP也好，XRF也好，都是相对比较的技术。如果标样和待测样品匹配度好，基体效应处理得好，XRF给出的准确度也很好。比如说贵金属行业拿EDXRF测试戒指中的Au或者Pt含量，这都是可以拿到法庭上作为呈堂证供的东西，准确度能不好么？
再比如RoHS行业，由于材质种类繁多，不可能每种材质都有完全匹配的标样，那么XRF就成了粗筛机器，不可能成为准确测试的仪器；

2. 你是说电镜上的EDS么？也是用来分析元素含量的，某些时候可以做一些氧化物换算。其实和XRF没有什么分别，不过激发源不是X光是电子束而已，分析对象都是X荧光。
由于电子束穿透能力比X射线还弱，所以EDS得到的含量是物体表面的含量，通常在20um以内；

3. ICP是Induced Coupled Plasma的缩写，Plasma就是等离子体的意思，他是把样品整个溶掉，比如铁棒放在硝酸中，把溶液喷入打成等离子体，然后测试发光光谱。

好处是测试极限很低，ICP-MS可以到做ppb量级的含量，而XRF在ppm量级。与XRF相比，ICP的基体效应小，但是并不是说就没有，小含量样品测试准确度很高，高含量样品的测试，准确度有时候还不如XRF呢。所谓各有所长。当然，XRF最大的好处是分析速度块，前处理相对比较简单。

原文由 仗剑少年游(yue_qiu) 发表:

原文由 哆哆(sunny100) 发表:

原文由 自由的国度(lili2827) 发表:
1. XRF的数据我个人认为也只能是参考,不过也要看是哪个牌子哪个型号的,针对的是哪种类型的样品,像我们现在正在使用的,针对塑料等一些非金属的测试结果还是可靠的,

2.EDS我没有用过,所以暂不评论

3.ICP是对样品元素总含量的测定,和XRF比较的话,就像楼上所说的,XRF不需要复杂的前处理过程,免除了前处理的时间,所以时间上要比ICP要快!而且还有一个优点就是有些可以保留样品的完整性,不需要破坏样品!但是对于测试结果还是ICP的相对更可靠

同意。经常有些客户拿些XRF的测试报告来投诉，我们就说不接受，除非你拿出化学分析测试报告来投诉（如：ICP-OES），我就受理跟进。

XRF的数据只能是作为参考或者粗筛选，不合格应该用化学测试分析方法进一步确认。

这样做不全面，如果XRF的测试报告使用的是工作曲线法（当然不多），没有理由不认可。

原文由 electrolyse(electrolyse) 发表:

原文由 loaferfdu(loaferfdu) 发表:
几个东西都是元素分析仪：
1. 准确不准确看背后标样体系和基体效应的情况。ICP也好，XRF也好，都是相对比较的技术。如果标样和待测样品匹配度好，基体效应处理得好，XRF给出的准确度也很好。比如说贵金属行业拿EDXRF测试戒指中的Au或者Pt含量，这都是可以拿到法庭上作为呈堂证供的东西，准确度能不好么？
再比如RoHS行业，由于材质种类繁多，不可能每种材质都有完全匹配的标样，那么XRF就成了粗筛机器，不可能成为准确测试的仪器；

2. 你是说电镜上的EDS么？也是用来分析元素含量的，某些时候可以做一些氧化物换算。其实和XRF没有什么分别，不过激发源不是X光是电子束而已，分析对象都是X荧光。
由于电子束穿透能力比X射线还弱，所以EDS得到的含量是物体表面的含量，通常在20um以内；

3. ICP是Induced Coupled Plasma的缩写，Plasma就是等离子体的意思，他是把样品整个溶掉，比如铁棒放在硝酸中，把溶液喷入打成等离子体，然后测试发光光谱。

好处是测试极限很低，ICP-MS可以到做ppb量级的含量，而XRF在ppm量级。与XRF相比，ICP的基体效应小，但是并不是说就没有，小含量样品测试准确度很高，高含量样品的测试，准确度有时候还不如XRF呢。所谓各有所长。当然，XRF最大的好处是分析速度块，前处理相对比较简单。

看了回复 我有三个问题哈 1：XRF和EDS都可以定性分析材料表面，EDS较浅。那请问XRF检测到时元素的含量还是元素组成化合物含量？EDS是元素含量还是组成化合物含量？他们的含量检测准确吗？  2：icp检测的整体材料的元素含量 是吗?  不能检测材料中化合物含量  对吧?

原文由 loaferfdu(loaferfdu) 发表:

原文由 electrolyse(electrolyse) 发表:

原文由 loaferfdu(loaferfdu) 发表:
几个东西都是元素分析仪：
1. 准确不准确看背后标样体系和基体效应的情况。ICP也好，XRF也好，都是相对比较的技术。如果标样和待测样品匹配度好，基体效应处理得好，XRF给出的准确度也很好。比如说贵金属行业拿EDXRF测试戒指中的Au或者Pt含量，这都是可以拿到法庭上作为呈堂证供的东西，准确度能不好么？
再比如RoHS行业，由于材质种类繁多，不可能每种材质都有完全匹配的标样，那么XRF就成了粗筛机器，不可能成为准确测试的仪器；

2. 你是说电镜上的EDS么？也是用来分析元素含量的，某些时候可以做一些氧化物换算。其实和XRF没有什么分别，不过激发源不是X光是电子束而已，分析对象都是X荧光。
由于电子束穿透能力比X射线还弱，所以EDS得到的含量是物体表面的含量，通常在20um以内；

3. ICP是Induced Coupled Plasma的缩写，Plasma就是等离子体的意思，他是把样品整个溶掉，比如铁棒放在硝酸中，把溶液喷入打成等离子体，然后测试发光光谱。

好处是测试极限很低，ICP-MS可以到做ppb量级的含量，而XRF在ppm量级。与XRF相比，ICP的基体效应小，但是并不是说就没有，小含量样品测试准确度很高，高含量样品的测试，准确度有时候还不如XRF呢。所谓各有所长。当然，XRF最大的好处是分析速度块，前处理相对比较简单。

看了回复 我有三个问题哈 1：XRF和EDS都可以定性分析材料表面，EDS较浅。那请问XRF检测到时元素的含量还是元素组成化合物含量？EDS是元素含量还是组成化合物含量？他们的含量检测准确吗？  2：icp检测的整体材料的元素含量 是吗?  不能检测材料中化合物含量  对吧?

我说了啊，几个东西都是元素分析仪。都是用来分析元素，不可以测试化合物。看帖不仔细啊

其中XRF、ICP背后可以使用标样，当标样匹配时，基体效应被消除，准确度可以做到很高；

EDS不能使用标样，只能使用无标样的FP法，准确度稍差一些。

原文由 electrolyse(electrolyse) 发表:

原文由 仗剑少年游(yue_qiu) 发表:

原文由 哆哆(sunny100) 发表:

原文由 自由的国度(lili2827) 发表:
1. XRF的数据我个人认为也只能是参考,不过也要看是哪个牌子哪个型号的,针对的是哪种类型的样品,像我们现在正在使用的,针对塑料等一些非金属的测试结果还是可靠的,

2.EDS我没有用过,所以暂不评论

3.ICP是对样品元素总含量的测定,和XRF比较的话,就像楼上所说的,XRF不需要复杂的前处理过程,免除了前处理的时间,所以时间上要比ICP要快!而且还有一个优点就是有些可以保留样品的完整性,不需要破坏样品!但是对于测试结果还是ICP的相对更可靠

同意。经常有些客户拿些XRF的测试报告来投诉，我们就说不接受，除非你拿出化学分析测试报告来投诉（如：ICP-OES），我就受理跟进。

XRF的数据只能是作为参考或者粗筛选，不合格应该用化学测试分析方法进一步确认。

这样做不全面，如果XRF的测试报告使用的是工作曲线法（当然不多），没有理由不认可。

看了回复 我有三个问题哈 1：XRF和EDS都可以定性分析材料表面，EDS较浅。那请问XRF检测到时元素的含量还是元素组成化合物含量？EDS是元素含量还是组成化合物含量？他们的含量检测准确吗？  2：icp检测的整体材料的元素含量 是吗?  不能检测材料中化合物含量  对吧?

原文由 仗剑少年游(yue_qiu) 发表:

我说了啊，几个东西都是元素分析仪。都是用来分析元素，不可以测试化合物。看帖不仔细啊

其中XRF、ICP背后可以使用标样，当标样匹配时，基体效应被消除，准确度可以做到很高；

EDS不能使用标样，只能使用无标样的FP法，准确度稍差一些。

EDS是因为检测条件不能控制么？为什么不能使用标样？

还请大师指教。

原文由 loaferfdu(loaferfdu) 发表:
几个东西都是元素分析仪：
1. 准确不准确看背后标样体系和基体效应的情况。ICP也好，XRF也好，都是相对比较的技术。如果标样和待测样品匹配度好，基体效应处理得好，XRF给出的准确度也很好。比如说贵金属行业拿EDXRF测试戒指中的Au或者Pt含量，这都是可以拿到法庭上作为呈堂证供的东西，准确度能不好么？
再比如RoHS行业，由于材质种类繁多，不可能每种材质都有完全匹配的标样，那么XRF就成了粗筛机器，不可能成为准确测试的仪器；

2. 你是说电镜上的EDS么？也是用来分析元素含量的，某些时候可以做一些氧化物换算。其实和XRF没有什么分别，不过激发源不是X光是电子束而已，分析对象都是X荧光。
由于电子束穿透能力比X射线还弱，所以EDS得到的含量是物体表面的含量，通常在20um以内；

3. ICP是Induced Coupled Plasma的缩写，Plasma就是等离子体的意思，他是把样品整个溶掉，比如铁棒放在硝酸中，把溶液喷入打成等离子体，然后测试发光光谱。

好处是测试极限很低，ICP-MS可以到做ppb量级的含量，而XRF在ppm量级。与XRF相比，ICP的基体效应小，但是并不是说就没有，小含量样品测试准确度很高，高含量样品的测试，准确度有时候还不如XRF呢。所谓各有所长。当然，XRF最大的好处是分析速度块，前处理相对比较简单。

原文由 loaferfdu(loaferfdu) 发表:

原文由 仗剑少年游(yue_qiu) 发表:

我说了啊，几个东西都是元素分析仪。都是用来分析元素，不可以测试化合物。看帖不仔细啊

其中XRF、ICP背后可以使用标样，当标样匹配时，基体效应被消除，准确度可以做到很高；

EDS不能使用标样，只能使用无标样的FP法，准确度稍差一些。

EDS是因为检测条件不能控制么？为什么不能使用标样？

还请大师指教。

俺不是大师，对仗剑老师您就更谈不上指教，仅仅与您分享我所知道的知识。

EDS通常指附在电镜上能谱，电子束可以聚集到很细，现在场发射电镜已经可以做到极限的2-5nm了。而电镜通常的分析区域是um量级，获得um尺度上的均匀标样并不容易，此其一。

其二由于电子束激发产生荧光，检测器检测到的荧光强度受到多种效应的影响，由于标样的缺乏，修正这些效应的理论模型如ZAF修正等也并不完备，特别是轻元素C、O、N等元素，效果差强人意。牛津仪器等能谱公司这些年利用一些新的修正模型，大大改善了轻元素的修正效果，但是距离XRF检量线结果的精度，还差得远。

就我有限的知识而言，还没有听说过EDS上使用检量线方式来测试元素含量的。EDS上也有一些标样，但是数量很少，大多是用来校正系统自带的诸如灵敏度系数的参数。当然现在技术进步快，是不是这两年出现了检量线方式检测而我不知道，我也不那么肯定。

所以EDS上的结果通常只是定性半定量的结果，准确度其实是不知道的。当然你也不能就说他一定误差大，事实上，你很难验证这个um尺度的东西准确度有多高。

大凡这种um尺度、nm尺度的测试，大多基于某个物理效应，对于定性的有没有，判断往往很准确，但是有多少，就要呵呵了。不过话说回来，我又要说了，盲人摸象，总比摸不到要好，得到一个可能不准确的结果，总比没有结果要进步多了。