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主题：【第六届原创】修复扫描电镜Stage的莫名Touch Alarm警告故障

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unht
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光谱发表于：2013/11/21 17:23:01 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
维权声明：本文为unht原创作品，本作者与仪器信息网是该作品合法使用者，该作品暂不对外授权转载。其他任何网站、组织、单位或个人等将该作品在本站以外的任何媒体任何形式出现均属侵权违法行为，我们将追究法律责任。
    摘要：电镜跳出警告Stage touch alarm has been triggered警告之后Stage不能自动，只能人为的用手转动它。通过咨询工程师，对仪器进行仔细检查，最终找到了问题所在，并且借助自有工具对电镜进行了修复。



仪器介绍：FEI的场发射环境扫描电镜，型号：Quanta FEG 250

仪器故障：在把样品放入样品室之后点击PUMP抽真空，结果跳出警告Stage touch alarm has beentriggered，Stage动不了，只能人为的转动它，实际上台子和样品没有接触到极靴，还相隔很远。





故障检测及修复过程：第一天我们选择了关闭仪器关闭电脑然后重新启动。这个在一般软件问题情况下都适应，果然这次出现了奇迹，电镜好了（这就纳闷了，怎么就突然好了，莫非真是软件出了点小问题）



不过好景不长，这种突然间好的情况不太靠谱，正常使用了一天又出现了同样的问题，这下关机重启没用了，实验不得不再次终止。

这回得仔细检查硬件设施，根据工程师的指示：

①先把前面面板拆开如图




②用万用表检查下这个线（红色箭头处）是否断路或者短路,如图





经万用表测量显示为无穷大，说明没有短路

③在检查是否断路，万用表两个笔分别搭在红色箭头3，4上如图




好！问题来了，经检测万用表也显示无穷大，这说明在这两者中某处断开了（3,4正常情况下是连通的一根导线）



于是我们顺藤摸瓜按图索骥找啊找，在这个（如图）地方发现了问题所在，

台面升起后断线被拉出的图片




    之前台面没有升起来，断了的线口被深藏里面很难发现，这就可以解释为什么一直没有发现它，还有前面所说的开机重启后恢复一天的正常，而后又出现了同样问题，可能是当时重启仪器前动了下Stage，致使断接处刚好搭接，而后在使用过程中又移动了Stage致使搭接处分开，从而同样问题的再次出现。

问题找到了，那我们就开始焊接吧。摆出我们的工具电烙铁，焊锡丝，排插，镊子等，如图




没两下就焊上了，如下图（这个焊接技术本人练过）

要注意的是焊接的时候温度很高，所接在电烙铁接触到焊接部位时不能时间过长、过频，以免损坏其它部件。




经万用表检测3，4部位显示电阻极小，说明线链接OK，如图




然通过软件里面的程序单独运行每个轴后居然X轴它不动，居然是灰的，其它轴都正常了，如图



我在想是不是没有焊好啊，不会是又断了吧，检查了下没有断是好的。后来我们直接到软件这里面去运行Stage—Home Stage如图










这回出现喜人一幕，X轴可以运行了，一切都OK了如图








总结：到目前为止已过一段时间了，仪器运行正常。假如以后仪器出现问题了，最好通过咨询仪器工程师，如果能够自己修复的尽量自己动手，这样不仅可以进一步加强自己对仪器的了解，提升管理人员的动手能力，更是节省了仪器维护费用
该帖子作者被版主 小M加 15积分， 2经验，加分理由：好作品，好原创
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wulin321
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2013/11/21 20:58:12 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在工程师的指导下动手
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小M
mitchell_dyzy
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2013/11/22 9:58:32 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
突然想起来，这个和另外一个的状况有点类似啊。

http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20110701/3393343/  问题二，现象有点不同，那个是导电不良引起图像漂移和荷电；这个直接不导通
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2013/11/22 10:03:38 Last edit by mitchell_dyzy
unht
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2013/11/22 13:08:28 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
突然想起来，这个和另外一个的状况有点类似啊。

http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20110701/3393343/  问题二，现象有点不同，那个是导电不良引起图像漂移和荷电；这个直接不导通


这两个的问题不一样
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unht
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2013/11/22 13:10:44 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wulin321(wulin321) 发表:

在工程师的指导下动手


这个是必须的
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天黑请闭眼
shxie
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2013/11/23 8:48:18 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很赞，学习一下。
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小M
mitchell_dyzy
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2013/11/23 16:35:06 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 unht(unht) 发表:
这两个的问题不一样
但是感觉焊的是同一根线
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unht
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2013/11/23 20:09:12 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
原文由 unht(unht) 发表:
这两个的问题不一样
但是感觉焊的是同一根线


这次的线跟上次的线不是同一根，虽然位置差不多（其实也相隔一定距离，里面有不同的线好几根）它功能不一样。
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zhw19811005
zhw19811005
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2013/11/24 19:59:40 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一次很好的DIY经历
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zjupengyu
v2784850
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2013/11/25 15:28:20 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我也常出现这种问题，第一次吓死我了 还以为哪里撞上了！！！我猜想是不是哪里有小颗粒落在里面了？后来出现了两次样品台不能移动，home stage以后就解决了！然后最近在刚抽真空时，又出现几次column pressure too high的警告！不知道怎么回事！！
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2013/11/25 16:11:43 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zjupengyu(v2784850) 发表:
我也常出现这种问题，第一次吓死我了 还以为哪里撞上了！！！我猜想是不是哪里有小颗粒落在里面了？后来出现了两次样品台不能移动，home stage以后就解决了！然后最近在刚抽真空时，又出现几次column pressure too high的警告！不知道怎么回事！！


不会是某个线路接触不良引起的吧，仔细检查下台子周围的线，看有没有要脱落了的接口
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