修复扫描电镜Stage的莫名Touch Alarm警告故障

unht

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2013/11/25 19:48:59 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 zhw19811005(zhw19811005) 发表:
一次很好的DIY经历

这东东，不自己动手弄弄觉得好复杂，自己动下手就没觉得有多复杂

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驰奔

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2013/11/28 20:28:59 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

祝贺楼主，要不，得使不少银子。

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小M

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2013/11/30 13:50:24 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
祝贺楼主，要不，得使不少银子。

还没出保呢，银子应该不用，但是时间成本就……

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小不董

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2013/12/7 0:09:37 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我也出现过x轴不能动，然后又出现y轴，z轴，最好home stage不能通过，后来又好了。

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unht

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2013/12/7 7:58:13 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 小不董(doxw0323) 发表:

我也出现过x轴不能动，然后又出现y轴，z轴，最好home stage不能通过，后来又好了。

可以去检查下那根线是不是快断了，

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kutoku

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2013/12/9 9:19:51 16楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

厉害！！！

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unht

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2013/12/10 8:18:01 17楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 kutoku(kutoku) 发表:

厉害！！！

没有啦，这个是必须的啦！！

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cvbs11

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2014/1/14 9:09:51 18楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

Touch Alarm的误报警我这里也出现过很多次，不过原因和楼主的不同：我这里是因为极靴上的保护罩松了导致。另外，我也想和大家分享一下其他经常出现的故障：X,Y,Z变灰色，Home Stage无效-
FEI的电镜Stage的导轨设计很独特：我们的设备导轨是陶瓷的，虽然耐磨，但是经常会出现Stage卡死的现象，在这种情况下X轴或者Y轴会变成灰色，做HomeStage也不行，必须靠手动的方式推动Stage。为了防止这种故障就必须经常清洁导轨。Z轴更奇怪，真空好的的时候就没问题，一旦Vent后做HomeStage，Z轴就会变灰色。

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