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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【讨论】SEM电镜在拍摄过程中的一些小技巧？

浏览0 回复9 电梯直达
许洛
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发表于：2013/12/27 09:12:15 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近在学SEM的操作，请问大家有没有什么小技巧可以讨论的呢？
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mitchell_dyzy
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2013/12/31 13:48:39 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
技巧很多，仔细发现吧
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fionawong
v2847923
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2014/1/14 20:08:24 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我感觉我的总是调的不清楚
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annelugel
annelugel
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2014/3/12 15:19:39 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谈谈用的是什么型号吧？！不同家的电镜技巧多少有点不同的，有针对性比较好说啊！
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无非须臾
qq761562270
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2016/4/11 17:32:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一直都是拍1000倍的（SEM日本电子 JSM-6010L 标称可以做30万倍），最近一个客户来的样品有非常小的颗粒，放到5000倍就很模糊了，消息称颗粒直径大概1μm,怎么才能拍好照片？
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rainyweek
rainyweek
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2016/4/11 18:12:32 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 无非须臾(qq761562270) 发表:
一直都是拍1000倍的（SEM日本电子 JSM-6010L 标称可以做30万倍），最近一个客户来的样品有非常小的颗粒，放到5000倍就很模糊了，消息称颗粒直径大概1μm,怎么才能拍好照片？
钨灯丝的拍1-5万倍的都还能出挺漂亮照片的，如果z方向衬度足够，更高倍数也有用途之处，5000倍应该更没问题。可能你的色散需要调整，如果导电性很差就要先喷金处理，然后就是合适的工作距离，聚焦和束斑半径的调整配合。
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白纸画卷丶
m3094157
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2016/4/14 10:24:07 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不同电镜可能不同  但基本套路都一样  合轴+消像散，还要根据样品的特点，比如导电性等适当调节加速电压、灯丝电流等。
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无非须臾
qq761562270
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2016/4/15 18:27:39 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 rainyweek(rainyweek) 发表:
钨灯丝的拍1-5万倍的都还能出挺漂亮照片的，如果z方向衬度足够，更高倍数也有用途之处，5000倍应该更没问题。可能你的色散需要调整，如果导电性很差就要先喷金处理，然后就是合适的工作距离，聚焦和束斑半径的调整配合。
谢谢，通过调小工作距离，调低电流，已经拍了一个1万倍的。不是很清楚，第一次拍那么高倍率的照片，由于样品为粉体，好担心样品被抽进真空泵……不知道工作距离是不是可以继续减小？EDX用的10mm,可以调到5mm吗？电流SS30是不是可以继续小？有没有什么界限？别把电镜搞挂了……
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无非须臾
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2016/4/15 18:28:23 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
sample
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cvbs11
cvbs11
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2016/4/20 9:37:37 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 无非须臾(qq761562270) 发表:
谢谢，通过调小工作距离，调低电流，已经拍了一个1万倍的。不是很清楚，第一次拍那么高倍率的照片，由于样品为粉体，好担心样品被抽进真空泵……不知道工作距离是不是可以继续减小？EDX用的10mm,可以调到5mm吗？电流SS30是不是可以继续小？有没有什么界限？别把电镜搞挂了……

n粉末样品的固定

 可以直接固定在导电胶带或者液体导电胶上，

注意点：如果是导电胶带，揭下来的剥离纸一定要倒着放，撒完样品后在用剥离纸干净的面压一下，固定的才会牢

  如果是液体导电胶，最好是用水溶性的，不容易和样品发生反应，撒样品的时间点控制在导电胶快干的时候撒，才能使样品达到半浸没状态。


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