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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】扫描电镜测膜厚

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sunlinlinsunlei
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发表于：2014/02/25 10:26:08 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问扫描电镜可以测不锈钢钝化膜厚度吗？

谢谢
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2014/2/25 23:43:35 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
钝化膜有多厚？扫描电镜分辨率是纳米级。
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大陆
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2014/2/26 11:56:39 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以，截面扫描电镜即可。
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fengyonghe
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2014/2/26 14:46:34 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
“截面扫描电镜”是哪一款型号的电镜？
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cvbs11
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2014/2/27 13:27:06 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 大陆(handsomeland) 发表:
可以，截面扫描电镜即可。


应该是用电镜做截面扫描吧，我个人的理解
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sunlinlinsunlei
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2014/3/3 14:05:40 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
钝化膜有多厚约为65nm，但是有人说扫描电镜

做不了钝化膜
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fengyonghe
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2014/3/5 1:11:07 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sunlinlinsunlei(sunlinlinsunlei) 发表:
钝化膜有多厚约为65nm，但是有人说扫描电镜

做不了钝化膜


制样是决定性一步，应该用Ar离子截面抛光机。
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zjupengyu
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2014/3/5 11:29:21 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
抛光后用背散射模式拍照片
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姑苏一梦
babyhk1988
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2014/3/6 10:08:30 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议用氩离子抛光仪抛光后扫描电镜进行观察，应该是可以实现的
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azuoin
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2014/4/3 15:35:01 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扫描电镜可以测量钝化膜厚度，但是需要横截镶嵌，比较麻烦。而且，钝化膜厚度通常和晶粒取向有关系。

推荐用成像椭偏仪来分析钝化膜厚度，您会发现膜厚和晶粒取向的关系~

原文由 sunlinlinsunlei(sunlinlinsunlei) 发表:

请问扫描电镜可以测不锈钢钝化膜厚度吗？

谢谢
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