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主题：如何改变扫描电镜的束流和束斑

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梅子的梅
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发表于：2014/05/15 10:22:15 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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做能谱时，因样品不稳定，要改变测试条件（扫描电镜的束流和束斑），小妹愚钝，不知如何调节。希望各位老师前辈指点指点，谢谢！
推荐答案：fengyonghe回复于2014/05/15
这要看测试的样品，稳定不积电的样品cps1500以上就可以测试，死时间控制在40%左右。不稳定样品，越不稳定，束斑越要加大，争取短时间测完。死时间不大于60%也能测试。不导电样品要做导电处理。
补充答案：

cvbs11回复于2014/05/16

要具体看你的设备是哪个品牌哪个型号的，各种机器改参数的方法也不一样的

小M回复于2014/05/15

改spotsize就行了

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2014/5/15 18:43:17 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这要看测试的样品，稳定不积电的样品cps1500以上就可以测试，死时间控制在40%左右。不稳定样品，越不稳定，束斑越要加大，争取短时间测完。死时间不大于60%也能测试。不导电样品要做导电处理。
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小M
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2014/5/15 19:36:55 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2014/5/16 13:51:23 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要具体看你的设备是哪个品牌哪个型号的，各种机器改参数的方法也不一样的
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