主题:【原创】求助,氮化硅膜可以做stem吗?

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氮化硅膜可以做stem吗?
推荐答案:皓联达电镜测试回复于2014/07/31
应该是可以的,以前做过这个样品,它很脆,如果电镜状态好,不需要球差就可以做。
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洪星二锅头
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皓联达电镜测试
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应该是可以的,以前做过这个样品,它很脆,如果电镜状态好,不需要球差就可以做。
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