主题:【求助】环扫模式抽真空

浏览0 回复4 电梯直达
消逝clown
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大家做环扫时候一般抽真空循环几次啊?这个对测试有什么影响么?等着循环抽真空好麻烦,等待时间好尴尬,说长不长说短不短的…
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小M
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消逝clown
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原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
按规定来吧,心急吃不了热豆腐


是这样的啊,环扫的真空循环是自己设定的么,我现在设定的就是700-1300Pa 循环3次,这些都是我自己设定的,不知道这样搞不搞得定这个腔室的湿度,希望有个比较。
ghf_ghf
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如果不怕失水,尽可能的让他循环起来,你的设定低位端降一降应该会更好;怕失水就尽可能的不循环,一步到位哈~
手机版: 环扫模式抽真空
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