主题:【已应助】求助一篇外文文献

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珊珊123
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Atomic layer controlled growth of SiO2 films using binary reaction sequence chemistry

作者:Ott,A.M.;Johnson,J.M.;George,S.M.

期刊:Applied physics Letters(Volume:70,Issue:9)

页码:1092-1094
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yilai1002
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