主题:【已应助】求文獻一篇

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【序号】:1
【作者】:佟洪波
【题名】:反应磁控溅射制备AlN薄膜及其发光性能研究
【期刊】: 东北大学
【年、卷、期、起止页码】:2008
【全文链接】:http://cdmd.cnki.com.cn/Article/CDMD-10145-2010259805.htm
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