微米纳米科学与技术丛书
作者:《微传感器》章吉良等
定价:每册39.00元
2005年12月出版
上海交通大学出版社
传感技术是现代信息技术(IT)的三大基础之一。在《微传感器》一书中详细介绍了各类机构机械传感器、热微传感器,磁微传感器,辐射和光微传感器,声微传感器,化学和生物微传感器,集成、智能和灵巧传感器,微传感器阵列和微传感器网络的工作原理、制备技术和应用,重点介绍了各类传感器的最新发展动态。
微执行器是现代自动控制技术的关键技术。近年来,随着微电子技术和微细加工工艺的书信速发展,特别是微纳米技术的蓬勃兴起,为微执行器的开发、研究提供了有力的技术支持。《微执行器》一书共分9章,系统阐述和介绍了微执行器中电磁型微马达、光学执行器、微阀门、微型泵的基本原理、技术基础、制造工艺和实用实例。