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主题：不知道大家的MBE中是怎样通气路的?

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silva
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发表于：2006/09/28 20:57:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不知道大家使用的MBE中有使用氧化性气体的吗？是怎样通入到MBE的生长室当中的？
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2006/10/1 17:12:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不知你是何意,是不是指对真空腔充入气体(N2,O2)?如果是的话,可以直接通过进气阀.或者是说对生长的材料加入气体性元素,我是使用射频氧等离子体而引入氧元素的,这里我是通过漏阀充入O2的.
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silva
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2006/10/2 10:39:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你们做多大的片子，氧气的喷嘴离衬底有多远啊？
你们的MBE是哪产的？
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stdp99
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2006/10/2 19:31:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在衬底上可以生长10mm*10mm的样品,氧源出口离样品50cm左右,我所使用的MBE是德国OMICRO公司的.
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lilele
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2006/11/14 16:45:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你们ormicon的系统大约多少钱啊
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2006/11/19 12:21:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
除了MBE外还配了AFM,STM,UPS,AES等,总共1100万,估计MBE 300-400万
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