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主题：【原创】Agilent ICPMS 第一次更换gate valve

浏览0 回复19 电梯直达
rainbowlk
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发表于：2015/04/24 10:12:26 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
该帖子已被狼牛牛设置为精华； 奖励积分记录： 狼牛牛(10分)
这话要从昨天早上点火一直点不着说起了。我一直在用的是安捷伦的7700X，从使用上讲，还是很不错的，半年多了一直都没有出什么大毛病，最多就是锥孔变大换个锥之类的小维护。可是昨天早上就不对了，一直点不着火。报错2150，interface vacuum is too low.
其实这个错之前也有过，但是一般就重新点两次就好了，所以没在意，而这次是真的不行了。
症状就是点火能点着，但是，在最后关头闸阀开启之后马上关闭。我们知道一般情况下IF/BK press大概在1-2Pa，点火以后一般会维持在260Pa左右，然后大约过个1分钟？（记不清多久了）会听见啪的一声，这时候闸阀就开启了。如果正常的话，点火就成功了。而我这次的故障就是在这啪的一声之后又啪的关闭了。。。
我的怀疑：
1.先排除是不是因为锥没拧紧导致的真空度不足，然后排除是不是因为锥尖扩大。那么直接换了新锥装上，拧紧。结果依然报错。
2. 是不是因为石墨垫片造成的？换新的石墨垫片，结果依然报错。
3. 万分不想相信的gate valve坏了。打电话报修，换个新的gate valve。
然后就是动手拆gate valve了。
1. 先卸真空，关机。然后把前面板拆下来。
2. 顶盖打开，然后就看见前面板的固定螺丝了，拆下来两个螺丝，前面板就拿下来了。如图

3. 拆下前面板就能看见gate valve模块了。然后就是拧下四个固定螺丝，然后将3个连接线拆开，3个管子拆下来。


4. 拆下来以后，照原样装回去新的就可以了。这步还没做，因为东西今天才到。后续会继续更新结果的，大家拭目以待吧：）
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timstoicpms
timstoicpms
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2015/4/25 10:26:28 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 rainbowlk(rainbow12020801) 发表:
2. 顶盖打开，然后就看见前面板的固定螺丝了，拆下来两个螺丝，前面板就拿下来了。如图



按你图中所示，拆的是顶盖抓扣的固定螺母。前面板固定螺母是在两侧。
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光哥
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2015/4/27 9:02:58 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真空阀门一般不容易坏掉的，有可能是错位了吧？要是知道怎么拆卸安装的话，自己鼓捣鼓捣重新定位安装下？
或者多点火几次，让阀门开关几次也有可能恢复正常
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buckbee
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2015/4/27 9:18:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一拉开角阀就熄火，这种情况我们在热电仪器上面也有过，因为角阀是气动控制的，工作压力源也来自于氩气，氩气压力波动的时候会影响雾化器的流量导致熄火。不晓得原因是不是同上面Agilent类似，期待高人解析
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rainbowlk
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2015/4/27 13:27:36 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:
按你图中所示，拆的是顶盖抓扣的固定螺母。前面板固定螺母是在两侧。
对，我的表述有问题，还有两个螺母 ：）
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zyl3367898
zyl3367898
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2015/4/27 22:05:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个问题如何解决？
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jiasheng
jiasheng
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2015/4/28 20:19:06 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zyl3367898(zyl3367898) 发表:
这个问题如何解决？
换了配件。
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阶前尘
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2015/4/29 9:09:09 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个东东多少钱！
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rainbowlk
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2015/4/29 16:59:34 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 阶前尘(jieqian1211) 发表:
这个东东多少钱！
据说2-3w吧，但是我们有维保的，铜牌服务，不花钱出的。然而后来发现并不是这个的问题，又退回去了。
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Tim
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2015/4/30 11:02:40 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
gate valve不会这么容易损坏，除非你使用LA，引起磨损或卡住
该帖子作者被版主 jieqian1211加 2积分， 2经验，加分理由：讨论
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阶前尘
jieqian1211
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2015/4/30 11:03:31 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 rainbowlk(rainbow12020801) 发表:
据说2-3w吧，但是我们有维保的，铜牌服务，不花钱出的。然而后来发现并不是这个的问题，又退回去了。
我们也想买维保，只是觉得这个费用太高了。铜牌都涵盖哪些服务呢
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2015/4/30 23:26:37 Last edit by jieqian1211
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