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主题：【求助】FEI Nova S450，昨天出现一换样品台位置就掉真空

浏览0 回复5 电梯直达
奋斗晶晶
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发表于：2016/01/26 09:14:01 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这台仪器里面不是可以放五个小样品台吗？每次在map里用鼠标点击换样品台位置时，就发现有掉真空的情况，电子束就会自动关闭，过一会再恢复，打电话给工程师，按照他的要求发现把X轴数值设置为0，按回车键就掉真空，但Y轴数值设置为0，按回车就不会，工程师在电话里说可能是X轴漏气，但具体还要现场看，请问这是怎么回事，又遇到过这种情况的吗？你们怎么解决的，职场菜鸟啊，刚接手这台仪器~~
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2016/1/27 15:16:26 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你这种状况我们之前有碰过，，就是真空出问题，X轴马达可能有漏气，可以请原厂或者我们也提供维修服务。
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laolaotong
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2016/3/11 10:09:17 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
根据工作台的结构，认为整个工作台及驱动机构都在腔内，不应该出现这个情况。。。。。。好差的FEI啊～～～
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asahi42
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2016/5/22 22:55:46 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
按照LZ的表述，就是X轴漏气的症状啊，后来解决了么？
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沃世德
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2016/5/26 7:54:14 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
工程师答复是对的。
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奋斗晶晶
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2016/5/26 14:02:52 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 asahi42(asahi42)发表:按照LZ的表述，就是X轴漏气的症状啊，后来解决了么？
后来过完年后，莫名其妙就好了
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手机版： FEI Nova S450，昨天出现一换样品台位置就掉真空
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