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主题：【求助】beam tilt pivot point

浏览0 回复4 电梯直达
mmctem
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发表于：2006/12/11 20:13:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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当我再tecnai f30上调节电子束时，每当再direct alignment中点击beam tilt pivot point就可以观察到两个电子束在晃动，请问该怎么调节？是让这两个点重合到一块吗？这种现象时有什么原因引起的？还有就是电子束的中心看起来不是个圆的亮点，而是像个十字架是怎么回事？还有就是电子束的中心看起来不是个圆的亮点，而是像个十字架是怎么回事？在spot size为8的情况下，应该可以进行stem吧，但是当我调节聚焦钮缩小光斑的时候，怎么只见光斑变扁而没有变小啊？ 多谢指点。
推荐答案：imrwb回复于2006/12/22
首先beam tilt pivot point是调节的是束偏转的两组线圈的支点（查help文件）如果不能重合一点，用多功能钮调节至重合。这对rotation center极为重要，你后面所看到的现象除与上述步骤不好之外，还有像散及电子枪的tilt、shift有关，不过在低倍时可观察到十字中心有亮点，这是场发射灯丝所固有的，不过我相信不是你所观察到的。调节光斑大小时见班变偏不小，这与你的对中有很大关系。spot size 在5-11都可作STEM，这与你想干什么有关。
补充答案：

hhwchina回复于2006/12/17

建议你请FEI的application engineer给你好好讲讲。
pivot point用multi－function XY调使斑点重合。

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2006/12/14 16:37:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位高手帮帮忙，解答一下。
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2006/12/17 15:46:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议你请FEI的application engineer给你好好讲讲。
pivot point用multi－function XY调使斑点重合。
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2006/12/22 15:54:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
首先beam tilt pivot point是调节的是束偏转的两组线圈的支点（查help文件）如果不能重合一点，用多功能钮调节至重合。这对rotation center极为重要，你后面所看到的现象除与上述步骤不好之外，还有像散及电子枪的tilt、shift有关，不过在低倍时可观察到十字中心有亮点，这是场发射灯丝所固有的，不过我相信不是你所观察到的。调节光斑大小时见班变偏不小，这与你的对中有很大关系。spot size 在5-11都可作STEM，这与你想干什么有关。
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mmctem
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2006/12/25 8:59:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
多谢版主指点！
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