主题:【求助】请问能否介绍一下Wedge Polishing制样方法

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lijingcow
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good ideal!
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lijingcow
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我不知道wedge polishing的具体操作,请前辈们指点。那个“good ideal”我也不知道是怎么写上去的,我记得我原来写的是“如题”
lijingcow
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我的 截面样品 是 碳化硅(sic)衬底上外延生长的氮化镓(gan)薄膜,在薄膜上还依次沉积了金属钛、铝、铂、金,金属层的总厚度不到2微米,我想观察金属和gan界面的情况。听有经验的人说,最好用wedge polishing 的方法制样,我不懂,故上来问一下,请指教
lijingcow
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请求前辈们回答一下,如果采用wedge polishing的方法,是不需要把样品对粘吧?把感兴趣的部位polish成楔形的薄端即可吗?谢谢
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