主题:【求助】离子源温度故障

浏览0 回复1 电梯直达
woke123789
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开机后,离子源温度从30几度缓慢上升到53度就上不去了,四级杆也一样。打400,让重启MS,重启了也没用。
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senke
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检查一下所有离子源的线,重新插拔一下试试,如果不行就是加热模块有问题,用万用表测一下。不会操作的话就让工程师上门检查
手机版: 离子源温度故障
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