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主题：【求助】flashEA检测不出哪里漏气

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lovesofar
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发表于：2007/01/29 14:29:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这几天做的leak test 载气最多只有到6ml/min,用Ar气检测了反应炉管，水阱各接口都检测不出漏气，请教各位大大还有哪些原因导致检漏失败？
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2007/3/30 14:20:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
自动进样器是MAS200吗？我认为是自动进样器有微漏
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lovesofar
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2007/8/23 13:17:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
果然，近样器的垫圈磨损导致漏气
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