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气质联用（GCMS）

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主题：【已应助】气质调谐

浏览0 回复21 电梯直达

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JOE HUI

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2019/11/22 10:04:09 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 Insm_402eadc6(Insm_402eadc6) 发表:这是抽了一晚上真空，今早调谐的

看调谐报告是漏气，按照我的提示去查找下漏气地方

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Insm_402eadc6

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2019/11/22 10:04:57 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:看调谐报告是漏气，按照我的提示去查找下漏气地方

好的，谢谢老师

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通标小菜鸟

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2019/11/22 10:10:44 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

刚换完柱子需要让分子涡轮泵至少抽4个小时后再调谐，调谐一直不过的话可能有微漏，放空后检查真空腔密封圈是否安装到位，各个连接处拧紧后再开机抽真空

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myoldid

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2019/11/22 11:37:27 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你这个确实就是微漏，检查下隔垫，O圈吧，另外也可以把分流比开到300，关闭载气节省吹半小时

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WUYUWUQIU

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2019/11/22 11:37:40 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

进气口放气30秒，一般能降低，但是要首先排除有没有漏气，看看进样口有没有漏气，比如石墨垫有没有拧紧

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tang566

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2019/11/22 11:46:16 16楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 Insm_402eadc6(Insm_402eadc6) 发表:
这是抽了一晚上真空，今早调谐的

从调谐报告上看，是有漏气的，需要查找漏气源，用丙酮查一下漏，先从气质连接口处开始查。

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杰8521

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2019/11/22 13:36:22 17楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

看一下衬管什么的啊

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深蓝

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2019/11/22 13:44:03 18楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

进样口和接口都升温后再抽会儿真空试试看

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安平

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2019/11/23 11:01:10 19楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

换回原来柱子确认一下

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p3311426

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2019/11/25 16:03:35 20楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

上周我也是你这种情况，微漏，侧板打开用沾甲醇的棉签擦拭一下，就好了，希望对你有帮助。

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