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主题：【已应助】气质调谐

浏览0 回复21 电梯直达
Insm_402eadc6
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发表于：2019/11/22 09:28:20 楼主 管理 分享 正序浏览 只看楼主 回复 私聊
为什么气质（安捷伦5975）换完柱子一直调谐不过，氮气比例很高，进样口端和MS端石墨垫都换过，还是不过？各位老师帮忙分析一下
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Insm_402eadc6
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2019/11/25 16:04:08 21楼 管理 分享 正序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 p3311426(p3311426) 发表:上周我也是你这种情况 ，微漏，侧板打开 用沾甲醇的棉签擦拭一下，就好了，希望对你有帮助。
好的，谢谢
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p3311426
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2019/11/25 16:03:35 20楼 管理 分享 正序浏览 只看楼主 回复 私聊
上周我也是你这种情况 ，微漏，侧板打开 用沾甲醇的棉签擦拭一下，就好了，希望对你有帮助。
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安平
byron1111
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2019/11/23 11:01:10 19楼 管理 分享 正序浏览 只看楼主 回复 私聊
换回原来柱子确认一下
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深蓝
mitsumi
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2019/11/22 13:44:03 18楼 管理 分享 正序浏览 只看楼主 回复 私聊
进样口和接口都升温后再抽会儿真空试试看
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杰8521
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2019/11/22 13:36:22 17楼 管理 分享 正序浏览 只看楼主 回复 私聊
看一下衬管什么的啊
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tang566
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2019/11/22 11:46:16 16楼 管理 分享 正序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Insm_402eadc6(Insm_402eadc6) 发表:
这是抽了一晚上真空，今早调谐的
从调谐报告上看，是有漏气的，需要查找漏气源，用丙酮查一下漏，先从气质连接口处开始查。
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WUYUWUQIU
wulin321
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2019/11/22 11:37:40 15楼 管理 分享 正序浏览 只看楼主 回复 私聊
进气口放气30秒，一般能降低，但是要首先排除有没有漏气，看看进样口有没有漏气，比如石墨垫有没有拧紧
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myoldid
v2963297
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2019/11/22 11:37:27 14楼 管理 分享 正序浏览 只看楼主 回复 私聊
你这个确实就是微漏，检查下隔垫，O圈吧，另外也可以把分流比开到300，关闭载气节省吹半小时
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通标小菜鸟
v3141805
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2019/11/22 10:10:44 13楼 管理 分享 正序浏览 只看楼主 回复 私聊
刚换完柱子需要让分子涡轮泵至少抽4个小时后再调谐，调谐一直不过的话可能有微漏，放空后检查真空腔密封圈是否安装到位，各个连接处拧紧后再开机抽真空
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Insm_402eadc6
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2019/11/22 10:04:57 12楼 管理 分享 正序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:看调谐报告是漏气，按照我的提示去查找下漏气地方
好的，谢谢老师
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