减压阀要考虑:接什么类型的钢瓶,出口是什么外径的管路,出口压强用多大规格的表盘?
(1)氩气问题不大,钢瓶都是40升,出口通常为 1/4英寸外径管路。ICP设备需要的压强是0.5~0.7MPa (见下图捷锐减压阀Ar钢瓶 备注描述)
(2)但是 氦气就得看具体情况了,也许是 8升小钢瓶,也许是40升钢瓶;出口也许是 1/8英寸外径不锈钢管路(例如安捷伦
ICP-MS),也许是 更细的不锈钢管路(例如热电
ICP-MS)
下图捷锐减压阀 He钢瓶,是搭配 8升小钢瓶,出口1/8英寸外径,输出压强0.05~0.15Ma可调。