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主题：【已应助】安捷伦7820A检测器问题，求老师帮忙看看

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发表于：2020/03/08 10:17:50 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用的安捷伦7820A，Fid检测器，最近后部检测器额定氮气尾吹30，可是实际值达到40多，并且不就绪，只能把额定数值提高到实际数值才能就绪，大家帮我看看哪里出现问题了，需要怎么排除这个毛病
推荐答案：cadicy回复于2020/03/08
个人分析如下：
气压P=流量Q*气阻R。仪器通过气体控制阀改变流量来调节气压。仪器通过测量气压来判断流量是否达到目标值，也就是说测得气压达到目标值了，仪器就认为流量也达到目标值了。
如果是某个部位堵了，气路的实际气阻值会偏大，直接导致气压升高，仪器会通过气体控制阀改小流量，使气压降低到目标值。此时流量仍然会显示为目标值（因为此时气压测得值是目标值），但实际流量已经改小了。
目前的情况是显示值偏大，也就是说测得气压是偏高的。按说仪器应该会通过气体控制阀改小流量，达到降低气压的效果。但现在气压没降下来，推测情况是气体控制阀无法控制流量达到降压效果。
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2020/3/8 10:19:56 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2020/3/8 10:26:45 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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2020/3/8 10:32:06 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
求好心人解答一下吧
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xiaoheihei
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2020/3/8 10:49:17 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
首先拆下FID EPC尾吹与H2接口管线，仔细检查到混合后到FID检测器这一段的管线是否通畅。通畅的话预计是FID尾吹EPC比例阀或者气阻脏污，有能力可以自己拆卸清洗，不行的话找安捷伦售后采购这个FID EPC部件也可以，不过很贵。
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hujiangtao
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2020/3/8 10:51:19 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能气体控制阀有问题
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xiaogumd11
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2020/3/8 12:20:37 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那就先改成40ml/min吧。只要对结果不影响，后续有条件再与A联系，排除故障或维修维护等等
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张张嘴
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2020/3/8 12:22:03 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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wajer
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2020/3/8 12:35:46 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能喷嘴堵了
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yy_0324
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2020/3/8 13:02:18 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
了解了安捷伦7820A检测器。
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xiao-jin
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2020/3/8 16:53:14 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议楼主先设定不同的尾吹量，再观察下实际流量是否有差异，以此再确定故障的原因。也可向安捷伦售后咨询了解，再动手解决。
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