主题:【已应助】化学气相沉积(CVD)与化学气相渗透(CVI)有什么区别呢

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shenfengjuan
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如题最近看到一些上面的词汇 所以想问一下
化学气相沉积(Chemical Vapour Deposition,CVD)与化学气相渗透(Chemical Vapour Infiltration,CVI)有什么区别呢
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shenfengjuan
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都是气相物质经过化学反应转变到固相的过程。
CVI的产物渗透到某种固体材料的表层,即深入到了这种固体材料的内部,但是深度一般不大。并且可能和这种基材发生了化学反应。
CVD是生成了某种固体产物,可以是在某种基材表面,也可以是在反应器内壁。但仅仅是在表面,没有同基材发生化学反应。
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