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主题：【已应助】晶圆表面气相分解后，收集液体所用的回收液，为什么要用到双氧水

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Insm_7eafc8d7
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发表于：2020/07/07 16:19:24 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
晶圆表面气相分解后，收集液体所用的回收液，为什么要用到双氧水？？？，双氧水起到什么作用，为什么不用硝酸？？？

          请教各位大大！！！
推荐答案：光哥回复于2020/07/08
VPD里面已经有HF和HNO3了吧，H2O2的氧化性相对较强，另外有些阳离子在H2O2环境中溶解性较HF/HNO3体系更好一些
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2020/7/8 15:42:02 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我猜是：双氧水的氧化性很强，可以使晶圆表面产生氧化硅保护层。
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光哥
xsh1234567
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2020/7/8 17:34:40 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
VPD里面已经有HF和HNO3了吧，H2O2的氧化性相对较强，另外有些阳离子在H2O2环境中溶解性较HF/HNO3体系更好一些
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Insm_7eafc8d7
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2020/7/9 13:24:16 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
VPD里面已经有HF和HNO3了吧，H2O2的氧化性相对较强，另外有些阳离子在H2O2环境中溶解性较HF/HNO3体系更好一些
按照你所说H2O2对于阳离子比HNO3要好，ICP-MS分析的是金属都是阳离子吧，那还要HNO3干什么呢？？？？
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