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主题：【资料】铜的抛光液

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yuyuyuyu
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发表于：2007/03/29 21:45:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
抛光液化学组成为1％HN O3+1％B TA+0.2％H2O2较适宜.
研究了腐蚀介质硝酸、成膜剂苯并三唑、H2O2、磨粒g-A12O3的浓度、抛光压力及抛光转速对铜化学-机械抛光速率的影响,解释了各种因素的影响机理.
配方0.1％甲胺溶液+0.5％K3Fe(CN)6+5％Al2O3可行.
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