fzfscn回复于2007/04/18
原文由 12002234 发表:
公司用的是JEOL的扫描电镜,因为是菜鸟,常常为得到清楚平滑的像而痛苦不已,有两个问题,望高手指点。
1.关于放大倍数,工作距离,调焦的相互关系
首先是以上三个参数的准确定义;
放大倍数屏幕有显示,可以直接调的,但究竟改变了什么使放大倍数变化了?是焦距f吗?
工作距离究竟指什么?为什么调节Z轴,屏幕上的工作距离不变(屏幕上的工作距离好像是人为设定的)
调焦(Focus)究竟改变了什么?是物距,相距还是焦距?
放大是调节了透镜的折射率。工作距离是样品到镜头的距离,当z轴不是马达调节时,显示的和实际的不一样。调焦是调节焦距。
2.怎么才能快速得到平滑的像
看到别人的SEM的像都很清晰平滑,但我好像很难调好,我就知道加大SpotSize可以使图象平滑,有其他方法吗?
还有就是有的样品的像有的区域非常的亮,很难调清晰。
别人说是样品不平,但据我所知,SEM的景深应该很大的;样品某些区域很亮,物理实质是什么?是电子聚集吗?是不是镀Pt就可以了?
样品某些部分亮是因为chargeup(样品不导电),或者是重金属的缘故。
谢谢!!!
原文由 bgwaste 发表:
不知哪个型号,你可在加速电压为30kv,电子束46或其他,工作距离10mm,自动校正后,就可以用autoFouce和autob得到清晰的图象!!