主题:【求助】关于放大倍数,工作距离,调焦的相互关系

浏览0 回复21 电梯直达
共工
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
调焦是调节焦距。

这个定义不对, 电子光学中的聚焦指的是对末级聚光镜线圈电流的调节

这个定义感觉不是从原理出发,而是解释了调焦的仪器内部操作。
是不是线圈电流的变化,导致线圈磁场的变化,然后电子束受到的洛仑兹力变化,然后焦距就变化了?

您的理解正确。

--------------------

样本是重金属的话意味着背散射电子的信号很强,导致图像很亮。

这句使我茅塞顿开。
版主是不是指背散射电子的信号会干扰到SEI像?

背散射电子信号不会干扰SE信号, 重元素在电子束的打击下释放出的BSE占所有收集电子的比率要比轻元素高。

12002234
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
谢谢RENXIN的详细解答

1.关于WD与样品台到物镜的距离

版主把WD比作焦距,样品台到物镜的距离比作物距,
把调节物距[Z轴]或焦距[WD]的值,使得焦距等于物距,比作聚焦---很形象!

"电镜操作中的等效, 可以把线圈看作玻璃透镜,电子束看作人眼, 检测器看作光镜中的照明光源,照射在样本上。"

这句很让我费解,像应该在检测器中形成啊.

联系到下面的"图像放大的实质就是电子束所扫描的区域的变小",
版主是不是指放大其实是保持像的绝对大小不变,但物的大小减小造成的?
从光学显微镜原理看,是不是使物距接近1倍焦距[扫描区域变小,当物距等于1倍焦距时,扫描区域是一个点,像为无穷大],从而获得放大的虚像?

感觉越来越糊涂了,看来我对SEM的理论基础掌握的太少了!

2.几个细节

版主所说的手动调节WD是不是就是调Focus旋钮?

"背散射电子信号不会干扰SE信号, 重元素在电子束的打击下释放出的BSE占所有收集电子的比率要比轻元素高。"
是不是说二次电子在重元素中被激发的比例比较低?那么重元素的SEI像应该相对较暗才是啊,怎么会很亮呢?

谢谢!

问题可能反而越来越多了...
如果实在觉得我因为不具备相关知识而无法沟通的话,可以不用回答了

但请一定要推荐我一些与之相关的SEM成像原理的文章[要细节丰富的,不要笼统的那种],我先打打基础.





共工
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
"电镜操作中的等效, 可以把线圈看作玻璃透镜,电子束看作人眼, 检测器看作光镜中的照明光源,照射在样本上。"

这句很让我费解,像应该在检测器中形成啊.

像由检测器形成不假, 但我们这里谈的是等效,  电镜的发射枪是相当于光镜观测中的人眼观测点,电镜检测器的位置相当于光镜观测中的样本照明光源。  唯一完全等效的是电磁透镜和玻璃透镜。

联系到下面的"图像放大的实质就是电子束所扫描的区域的变小",
版主是不是指放大其实是保持像的绝对大小不变,但物的大小减小造成的?

您的理解正确。

版主所说的手动调节WD是不是就是调Focus旋钮?

是的。

"背散射电子信号不会干扰SE信号, 重元素在电子束的打击下释放出的BSE占所有收集电子的比率要比轻元素高。"
是不是说二次电子在重元素中被激发的比例比较低?那么重元素的SEI像应该相对较暗才是啊,怎么会很亮呢?

重元素在电子轰击下产生的背散射电子要比轻元素多,但两者产生的二次电子量却很接近。

您看到的SE检测器像实质上是  SE和 BSE的混合像,所以较亮。

问题可能反而越来越多了...
如果实在觉得我因为不具备相关知识而无法沟通的话,可以不用回答了

但请一定要推荐我一些与之相关的SEM成像原理的文章[要细节丰富的,不要笼统的那种],我先打打基础.

从您问的问题可以看出您是很认真的,这很难得,所以我花时间解答。

电镜文献浩如烟海,想要深入浅出的话我建议您抽时间阅读我在论坛内的精华贴和每周一问的帖子,相信您会有收获。
lecoo
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
spotsize调大,图片变得平滑,但是也是以牺牲分辨率为代价的。
如果做高倍有细节的图片,光斑还是小点比较好^_^

另外图片是否平滑清晰,和对比度,扫描速度,象散还有wobbler很有关系。。
求缺人生
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 12002234 发表:
原文由 bgwaste 发表:
不知哪个型号,你可在加速电压为30kv,电子束46或其他,工作距离10mm,自动校正后,就可以用autoFouce和autob得到清晰的图象!!


型号好像是6300(?),加速电压我看别人一般只用到15kv(半透膜之类的只有5kv,好像怕电子聚集),不知道他们为什么不用高一点的加速电压,加速电压变大是不是有其他缺点啊?

工作距离10mm就是Z轴的刻度是10mm吗?好像不能定吧,因为调焦时我看别人都先旋Z轴的.

autoFocus和ACB我用过好多次了,如果一开始图象颗粒感很强的话,用以上两个按钮基本没用,得不到清晰的像,不知道为什么?

谢谢!



不知你gum没有?加速电压为30kv或最高电压,进行gum!样品导不导电?镀了多长时间?
12002234
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
感谢版主的再次解答。

我先去看看版内的精华贴,有问题再向版主请教!

12002234
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 lecoo 发表:
spotsize调大,图片变得平滑,但是也是以牺牲分辨率为代价的。
如果做高倍有细节的图片,光斑还是小点比较好^_^

另外图片是否平滑清晰,和对比度,扫描速度,象散还有wobbler很有关系。。


愿闻其详!
可否提供一些你的实践调节中的细节技巧?

十分感谢!
12002234
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 bgwaste 发表:

不知你gum没有?加速电压为30kv或最高电压,进行gum!样品导不导电?镀了多长时间?


gum是指电子枪吗?我们那这个基本不调的。
不过曾经有人因为调了gum,结果变不清楚了,而且我不会调回来。
关于gum的调节能讲详细点吗?

样品是铝膜,中间是率,上下是尼龙和CPP

有时样品镀了足够pt之后,我就调不清楚,可是别的老手来了,三两下就调清楚了,郁闷!
rainyweek
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
每次更换新灯丝后还是要调"gum"的


原文由 12002234 发表:
原文由 bgwaste 发表:

不知你gum没有?加速电压为30kv或最高电压,进行gum!样品导不导电?镀了多长时间?


gum是指电子枪吗?我们那这个基本不调的。
不过曾经有人因为调了gum,结果变不清楚了,而且我不会调回来。
关于gum的调节能讲详细点吗?

样品是铝膜,中间是率,上下是尼龙和CPP

有时样品镀了足够pt之后,我就调不清楚,可是别的老手来了,三两下就调清楚了,郁闷!
rainyweek
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵

型号好像是6300(?),加速电压我看别人一般只用到15kv(半透膜之类的只有5kv,好像怕电子聚集),不知道他们为什么不用高一点的加速电压,加速电压变大是不是有其他缺点啊?

导电性不好的样品要用低电压,以免电子在表面堆积导致图片发白模糊

工作距离10mm就是Z轴的刻度是10mm吗?好像不能定吧,因为调焦时我看别人都先旋Z轴的.

JEOL的机器, Z是样品台到探头的距离(可看作理论上的工作距离),WD是聚焦位置离探头的距离(即实际的工作距离,因为你的样品有一定的高度,例如你观察的位置是样品上表面,则WD数值为样品上表面到探头的距离),因此设定工作距离Z时要把样品高出样品台的高度考虑进去。

autoFocus和ACB我用过好多次了,如果一开始图象颗粒感很强的话,用以上两个按钮基本没用,得不到清晰的像,不知道为什么?

用autoFouce在小倍数下还基本可以,但在稍大倍数下就效果很不行了,因为景深问题(颗粒感很强说明表面凹秃不平的厉害,不同位置景深差别比较大),这时还是动手调节Fouce效果好,毕竟只有你才最清楚想聚焦在哪个层面和位置上。
ACB是自动调节对比度和亮度的,这个还是比较有效果的,但可以根据实际情况进一步手动调节。


猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
品牌合作伙伴