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主题：【已应助】ICPMS测硫酸里的Zn不准确

浏览0 回复7 电梯直达
豆皮爱好者
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发表于：2022/07/18 13:56:30 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
新手上路，用一台ICPMS测十几种样品，酸碱混酸有机物等，浓度范围差别也很大，现在的问题是硫酸里的Zn很难测准确，我们要求的是10ppt的spec，但是连买的高纯硫酸（出厂检测数值10ppt以下）测出来都有几十上百ppt，明显不准，后期连超纯水Zn的值都有十几ppt，完全不能出数据，让安捷伦的厂商来调，就说我们测得太杂了，调不下来，可是设备才用不到半年，很郁闷
设备型号：安捷伦8900（200）半导体产业适用
Zn：68-102，68-85，hot NH3模式
石英1.5mm矩管，pt锥
矩管用5%的硝酸清洗，超纯水超声，锥也洗过了，Zn还是下不来，没做硫酸前其他化学品的Zn还好，现在都挺高的了，大家有遇到过类似情况吗？
有没有大神可以帮帮我
推荐答案：次元之暗面回复于2022/07/21
估计要整套进样系统换一换，试剂瓶子也要换一换
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timstoicpms
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2022/7/18 16:19:39 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用一台ICPMS测十几种样品，酸碱混酸有机物等——  你起码得准备 2-3个石英雾化室，酸、碱、有机溶剂 各一个。
如果你听说过 前安捷伦维修工程师 王强的话，可以联系他，他就在苏州。
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tuxlin
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2022/7/19 9:05:30 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Zn的本底也不好控制，容易污染。我们这里Zn的本底能控制在十几个ppt的话，都要偷笑了。
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次元之暗面
v3195919
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2022/7/21 12:30:07 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
估计要整套进样系统换一换，试剂瓶子也要换一换
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豆皮爱好者
Insm_81771997
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2022/7/22 9:16:09 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tuxlin(tuxlin) 发表:Zn的本底也不好控制，容易污染。我们这里Zn的本底能控制在十几个ppt的话，都要偷笑了。
同类型的半导体公司可以测到10ppt以下，我们测不到，不知道是不是方法问题
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2022/7/22 9:45:34 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 豆皮爱好者(Insm_81771997) 发表:
同类型的半导体公司可以测到10ppt以下，我们测不到，不知道是不是方法问题

我把你这个问题转给 王强 看，他认为：很多测试细节的把控，与 操作者 的能力密切相关。
建议你去请同行师傅 手把手教。
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光哥
xsh1234567
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2022/7/25 17:53:31 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
以前遇到过一样的情况：

1、如果进样系统全都拆洗了，还是下不来；

2、拆洗打磨透镜；

3、如果透镜拆洗打磨了还下不来；

3、拆了八极杆清洗；

这个问题以前用7700s也遇到过。大概是经常进稀硫酸，导致最终八极杆上都有所残留了。当时我拆卸清洗了八极杆，本底就下来了
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2022/7/26 7:35:01 Last edit by xsh1234567
Insm_1e5a543b
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2024/4/5 14:40:54 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以试试其他模式和质量数
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