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主题：【分享】涡轮分子泵运转时需要注意的问题1

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lijing320323
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发表于：2022/09/15 21:15:47 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1、返流

　　涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用，然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境，经调查发现碳氢化合物的来源，50%是操作失误所带来的问题，如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时，没有控制返流的安全阀，不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染。

　　为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求，在前级泵不是干式泵的情况下，有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。
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sdlzkw007
sdlzkw007
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2022/9/16 7:21:43 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
从油扩散泵到分子涡轮泵，从油封式旋片机械泵到干式泵都体现了真空提供的进步。
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