主题：【分享】涡轮分子泵运转时需要注意的问题7

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lijing320323

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发表于：2022/09/21 22:03:20 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

4、前级管道设安全阀

　　如果不采用一个操作合理的前级管道安全阀，就有可能即污染涡轮分子泵又污染真空室。当前级泵断电停车时，前级泵就会给自己充气反向通到涡轮分子泵的排气口。这种前级泵充气会输送前级管道返流的泵油，之后通过涡轮分子泵进入真空室，这种现象称为油污染，被污染后涡轮分子泵的叶片就必须在厂家的指导下用氟利昂来清洗。

　　在涡轮分子泵与前级泵之间装上一个真空阀，可以防止反向充气，当停电时立刻关上此阀。理想的情况是，它即能对前级泵入口充气又不致于使泵油返流浸入安全阀。另外，只有当它的压力基本均衡时才能打开安全阀，否则就有可能出现压力冲击前级管道的问题，例如，在断电瞬间前级泵压力将为大气压力，然而前级管道仍可能处于真空状态下。若阀门的两侧压力差很大，一旦通电阀门会立刻打开，含污染油的大气压下的气体将由前级泵冲向前级管道，从而会污染系统。所以安全阀需要一定的延迟开启的时间，以便让前级泵将阀门后的管道内抽成真空，阀前后的压差均衡时才可打开安全阀，总之采取办法来控制阀门的两侧的压力差，不使气流返冲。现在许多直联式旋片泵，在泵内装有安全阀，但阀门密封性能一定要保证，一旦阀门关不上后果相当严重，涡轮分子泵系统就会被油污染，这种问题是可能通过检测事先发现的。在运转的前级泵上安装一个前级真空规管，将泵关闭如果前级压力增加值在10～1000 μmHg （1×10- 2～1 torr 或1.333～133.3Pa）之间并不再增加，则阀门有效如果压力继续上升很快，直接达到大气压力说明阀门失效。如果阀门的密封良好，检查阀门是否立即开启还是等压力均衡后再开启，观察规管并开前级泵，如果规管马上就跳到几乎是大气压力，说明有返流的蒸汽的冲击。