主题:【已应助】安捷伦老款icpms点火,射频电压从700涨到1200,1200w就熄火.求大佬指点

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Ins_4dff667f
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如题,老款安捷伦7500。上午还好好的,下午点火forward rf电压涨到1200就灭火。循环冷却水,氩气都没问题。  软件也重新装了,实在是没辙了。
推荐答案:闹太套回复于2022/10/10
那是射频功率,你把反馈功率也调出来看一下,点火的时候同步观察。正常情况是射频0-700-1200然后稳定,反馈是100多200这样降到两位数或者个位数。如果反馈功率随着射频功率一直涨到好几百,那就会熄火。我的7800遇到过几回,当时进样系统拆装一下,也暂时点着了,但是过段时间还是老问题。后来找了工程师上门修理了一下彻底好了。你检查下是不是这个问题,如果是,可以参考下https://bbs.instrument.com.cn/topic/7242583_1?order=threadid这篇原创精帖,这位老师自己动手解决了问题。
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那是射频功率,你把反馈功率也调出来看一下,点火的时候同步观察。正常情况是射频0-700-1200然后稳定,反馈是100多200这样降到两位数或者个位数。如果反馈功率随着射频功率一直涨到好几百,那就会熄火。我的7800遇到过几回,当时进样系统拆装一下,也暂时点着了,但是过段时间还是老问题。后来找了工程师上门修理了一下彻底好了。你检查下是不是这个问题,如果是,可以参考下https://bbs.instrument.com.cn/topic/7242583_1?order=threadid这篇原创精帖,这位老师自己动手解决了问题。
timstoicpms
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原文由 闹太套(m3235491) 发表:
那是射频功率,你把反馈功率也调出来看一下,点火的时候同步观察。正常情况是射频0-700-1200然后稳定,反馈是100多200这样降到两位数或者个位数。如果反馈功率随着射频功率一直涨到好几百,那就会熄火。我的7800遇到过几回,当时进样系统拆装一下,也暂时点着了,但是过段时间还是老问题。后来找了工程师上门修理了一下彻底好了。你检查下是不是这个问题,如果是,可以参考下https://bbs.instrument.com.cn/topic/7242583_1?order=threadid这篇原创精帖,这位老师自己动手解决了问题。
楼主说了是老款 7500;7500 匹配箱 与后续的 7700/7900/7800/7850 不一样
安捷伦 已经停止7500的维修备件库存,维修工程师中 也没几个人会 7500 ChemStation 软件了。
闹太套
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原文由 timstoicpms(timstoicpms) 发表:
楼主说了是老款 7500;7500 匹配箱 与后续的 7700/7900/7800/7850 不一样
安捷伦 已经停止7500的维修备件库存,维修工程师中 也没几个人会 7500 ChemStation 软件了。
感谢指正,我还以为类似呢
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