【序】

电子显微镜得到的最终结果大都是图像信息，有些故障现象是可以反映在图像信息上，对于有经验的操作者在观察电镜图像时，可以通过电镜成像质量来判断故障所在，下面简单介绍透镜出现的一些常见的图像表现现象和特征，由此大致可以判断部分故障可能出现的原因，这些都是一些经验性总结，可供电镜操作人员参考。

【一、电子束光斑周期性波动】

这种现象一般都是电路系统的故障，主要有两种表现形式，一是照明系统的出了故障，照明灯受热胀冷缩影响导致灯座接触不良，使电路不稳定。二是出现在成像系统中，虽然偏转系统的偏转线圈出故障时束斑虽然有周期性变化，但大小变化不明显。但在电子成像系统上，束斑不但有周期性变化，而且还有比较明显的明暗和大小变化。以此重点检查电镜电子束偏转电路系统。

【二、电子束光斑无规律波动】

该现象主要是有由光路污染引起的。如果是照明系统的污染，束斑只有无规律的摆动，而没有明显的明暗和大小变化。若污染在在成像系统内，则束斑除了无规律的摆动外，还有比较明显的明暗和增大缩小的变化。此处重点需要清洗光栏、极靴和光路系统部件。

注意：在大致确定污染部位后，利用可动部件来判断是哪个点存在污染，最终有的放矢的将污染点彻底清洗掉。

【三、电子束光斑亮度变化】

电镜图像常常会发生明暗变化，这里大多与高压放电和外界磁场干扰有关。这种故障的处理首先是关掉高压调制功能，观察束流表是否有变化，如果有变化，可判断是高压放电引起的，重点检查高压油箱、高压电缆以及电子枪是否存在污染导致放电。另外如果束流未发生变化，则可确认灯丝是否饱和或是外界磁场干扰。

【四、图像按一定轴向有规律周期性摆动】

这个现象大部分是由回路上故障造成的。图像的分析和束斑在照明系统和成像系统的分析和检查方法是一样的。值得注意的是高压产生微小电平叠加也能出现此现象。

【五、图像无规则摆动，且是无轴向的，摆动时间和振幅也是无规律的】

这种摆动主要是由污染造成的。污染在照明系统还是成像系统，具体污染在哪一个透镜上，需要仔细检查并加以判断。其检查方法与透镜污染后束斑表现的现象一样，排除故障的方法也一样。

【六、通过照片质量来判断故障所在】

1、在X或Y轴上出现过焦重线现象，往往是电子束偏转系统的消像散装置未调到最佳点。如果物镜活动光栏孔未校正或被污染都有可能会出现此现象。

2、照片在X和Y轴上有毛刺。以下几点因素都有可能会造成图像毛刺。

①样品导电性能不良，引起电荷积累而放电。

②由于透镜载网与膜接合不牢，或是膜太厚，或是样品太大、太浓，在电子束照射下引起热漂移。

③在拍照时外界的机械振动或干扰。

④外界杂散磁场的严重干扰。

⑤光栏的污染等。

3、有轴向的不清晰成像，不清晰度是以轴向成扩散状。这是成像系统透镜中的问题，往往是回路的问题。但是高压的变化也会引起阳极势场的变化，使束流变化而引起的故障现象，此时需要检查高压回路。

4、照片局部存在模糊不清。这往往是出现在观察室以下的放电引起的故障。荧光板、快门、底片、观察窗玻璃等部位由于污染或接地不良造成的放电。

【小结】

透过电子显微镜成像的表面现象看故障的本质，故障固有千变万化，但大都离不开水（冷却系统）、气（真空系统）、光（照明系统）、电（电路系统）、样（样品系统），在长期的操作维护实践中不断总结和经验积累，最终通过在成像质量上仔细的观察，可直观的判断出一些常见的故障，同时也可快速加以排除，并提高电镜的使用寿命和工作效率。

2022.10.19