主题:【已应助】赛默飞气质

浏览0 回复6 电梯直达
Ins_81960f24
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赛默飞气质,涡轮泵速度一直为0,不升是什么原因,我就换了一根柱子,希望各位大神救救我
推荐答案:检测人王大锤回复于2023/05/04
关机换柱子后,需要重新开机,真空泵会自动开启
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检测人王大锤
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换柱子肯定要关机的,是漏了,质谱端的石墨环裂开了,换了一个就好了
blackjack11
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换柱子时候太慢了,真空漏完了,所以分子涡轮泵停了,全关了在开一遍就好了
Ins_81960f24
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原文由 blackjack11(blackjack11) 发表:换柱子时候太慢了,真空漏完了,所以分子涡轮泵停了,全关了在开一遍就好了
换柱子就是卸完真空换的,后来排查一下是质谱端石墨环裂了
检测人王大锤
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原文由 Ins_81960f24(Ins_81960f24) 发表:
换柱子就是卸完真空换的,后来排查一下是质谱端石墨环裂了
感谢反馈
Ins_81960f24
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原文由 检测人王大锤(mitsumi) 发表: 感谢反馈
没事,希望对遇到和我一样问题的朋友有帮助
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