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主题：【已应助】磐诺气相故障求助

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Ins_3498333b
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发表于：2023/07/04 14:51:26 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
磐诺这个气相A60，stop灯一直在闪，三种气体在工作站中都没有压力，这个怎么办啊。
推荐答案：xiaoheihei回复于2023/07/04
看看气源是否有足够压力，没有就检查一下EPC能够正常开启，必须接好柱子，不能严重漏气，不然也是会报错的。自己处理不好就找客服吧。
该帖子作者被版主 PAEs加 5积分， 2经验，加分理由：话题
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xiaoheihei
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2023/7/4 22:40:14 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看看气源是否有足够压力，没有就检查一下EPC能够正常开启，必须接好柱子，不能严重漏气，不然也是会报错的。自己处理不好就找客服吧。
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zyl3367898
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2023/7/4 22:58:06 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
三种气体开了吗？压力够吗？重启气相。
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myoldid
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2023/7/5 14:21:28 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
直接手动开启气体呢？是不是点火失败或者其他啥原因导致 压力不够从而关闭了其他几路气体。简单的就是检查气源开关，压力是否够，再调用一个成熟的方法，确认柱子配置是否正确后观察仪器状态
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PAEs
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2023/7/5 15:20:32 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查下气源压力是否正常？
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Insp_deff4b97
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2023/7/6 14:30:16 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查确认后，重启试一下
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俭以养德101
Ins_ecc853e7
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2023/7/6 20:11:26 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
关机重新检查一下再启动看看
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yifan1117
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2023/7/6 21:08:22 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
重启试试吧。三种一起没有压力比较少见。
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zyl3367898
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2023/7/7 22:43:53 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问题解决了吗？反馈有积分奖励。
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Ins_3498333b
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2023/7/13 15:44:03 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各种方法都尝试了，可能是仪器板子有问题，没有气压，仪器没有反应
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Ins_3498333b
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2023/7/13 15:44:48 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zyl3367898(zyl3367898) 发表:问题解决了吗？反馈有积分奖励。
应该一般的方法解决不了，这类仪器又很少经验分享
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