主题:【求助】pirani规压力仍大于2.3mbar 是什么原因啊

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古代的月亮
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pirani规压力仍大于2.3mbar 是什么原因啊,本人新手,有啥好的办法能解决吗,有人说是真空度不够,也不知道什么原因呀,求大神讲解
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p3221590
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可能是锥漏气,可以更换垫圈,或者更换锥,也可能是真空泵要换泵油了
Ins_da8846f3
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Pirani规是用来测量真空度的工具,其原理是基于热电离的原理。如果Pirani规测量的压力大于2.3mbar,可能有以下原因:

1、真空室或真空管道存在漏气,导致气体分压增大,从而使Pirani规测量值偏高。
2、真空泵的抽气能力不足,无法将真空室内的气体及时抽出,导致气体分压增大,从而使Pirani规测量值偏高。
3、Pirani规自身误差或损坏,导致测量结果不准确。
4、环境温度、湿度等参数影响Pirani规的测量结果。

针对以上原因,可以采取以下措施:

a、检查真空室和真空管道是否漏气,如果有漏气,进行密封处理。
b、检查真空泵的抽气能力是否足够,如果不足,可以更换更大抽气能力的真空泵。
c、校准或更换Pirani规。
d、控制环境温度和湿度,尽量减少其对Pirani规测量结果的影响。
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