主题:【原创】安捷伦 GCMS 故障高真空泵关闭

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安捷伦 GCMS 7890B_5977,前一天正常跑样,在正常放空关机后,第二天重新开机抽几分钟的真空后,仪器报故障显示高真空泵未就绪,高真空泵关闭,MS端升温慢。检查过侧板可以正常吸住,更换了新的进样口隔垫,涡轮泵转速刚开始可以升上来,但是过几分钟后自动关闭下降。求大神解答一下!
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Whening
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